판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-107 #132338

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-107은 정밀 작동을 위해 설계된 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 최첨단 웨이퍼 매거진, 고성능 로봇, 광학 기반 정밀 정렬 시스템이 특징입니다. 첨단 기술과 직관적인 컨트롤을 통해 브룩스 (BROOKS) ATM-107 (ATM-107) 은 다양한 크기와 밀도의 웨이퍼를 정확하고 빠르게 전송하고 정렬할 수 있습니다. PRI AUTOMATION ATM 107과 함께 제공되는 웨이퍼 매거진은 단일 카세트에서 최대 100 개의 웨이퍼를 보유 및 보호하도록 설계되었습니다. 대용량 자동 로더 (auto-loader) 와 기계식, 광학식, 정전식 감지 시스템 (chanical, optical, or capacitive detection system) 을 선택하여 정확한 웨이퍼를 식별하고 선택할 수 있습니다. 이 잡지의 고급 설계 (advanced design) 는 잡지 전체가 균등하게 가열되어 열 충격을 최소화하고 일관된 온도를 유지합니다. ATM 107은 또한 고속 40 와트 브러시리스 DC 서보 모터를 갖춘 고급 5 축 관절 로봇을 갖추고 있습니다. "로봇 '은 정확성 과 신뢰성 이 뛰어난" 웨이퍼' 를 정확 하게 배치 하고 방향 을 정할 수 있다. "로봇 '은 또한" 레이저' 삼각 측량 및 추적 "알고리즘 '을 사용 하여" 웨이퍼' 를 정확 한 위치 에 정확 하게 맞추는 고급 시력 장치 를 갖추고 있다. 마지막으로, PRI AUTOMATION ATM-107에는 이미지 기반 패턴 일치 (pattern matching) 와 fiduciary 마크의 조합을 사용하여 올바른 정렬 지점을 정확하게 식별하는 광 기반 정밀 정렬 머신이 장착되어 있습니다. 이 고급 도구 (Advanced Tool) 는 웨이퍼를 정확한 위치와 방향에 맞춰 빠르고 정확하게 정렬할 수 있도록 설계되었으며, 이를 통해 Wafer 전송도 안정적으로 수행할 수 있습니다. 전반적으로, BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 107은 사용자에게 안정적이고 매우 정확한 웨이퍼 처리 경험을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 처리 자산입니다. ATM-107은 고급 웨이퍼 매거진 (wafer magazine), 고성능 로봇, 광학 기반 정밀 정렬 모델을 통해 모든 산업 분야에서 정확성, 반복성, 비용 효율성을 보장합니다.