판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-107/407 #9206798
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BROOKS ATM-107/407은 마이크로 전자 재료 제조를 위해 반도체 웨이퍼를 운송, 가공, 테스트, 패키지 및 청소하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 다목적 장치는 웨이퍼 처리에서 테스트 샘플 형성까지 정확하고 반복 가능한 작업을 제공합니다. 이 장비에는 고정밀 6축 로봇 암, 멀티 센서 척, 서보 피더 시스템 등 다양한 자동화 기능이 있습니다. 로봇 암 (robot arm) 은 웨이퍼 캐리어를 정확하게 배치하고 제어할 수 있으며, 멀티 센서 척 (multi-sensor chuck) 은 다양한 웨이퍼 크기와 유형을 손쉽게 처리 및 포지셔닝할 수 있습니다. 서보 급지대 장치는 웨이퍼를 빠르고 정확하게 로드하고 언로드하도록 설계되었습니다. 이 기계에는 효율적인 진공 도구, 개선 된 PCB 리프트 자산 및 샘플 충돌 보호 (sample collision protection) 가 장착되어 있습니다. 이러한 기능을 사용하면 빠른 웨이퍼 전송, 신뢰할 수있는 샘플 처리 및 높은 반복성이 가능합니다. 또한, 챔버는 우수한 온도 조절로 설계되어 보다 일관된 샘플 품질을 제공합니다. ATM-107/407에는 샘플 컴포넌트의 빠르고 정확한 가중치를 가능하게 하는 Hotloop 기능도 포함되어 있습니다. 또한이 모델은 기판 및 박막 연구와 모두 호환됩니다. ATM-107/407에는 브러쉬, 핀셋, 노즐 등 다양한 웨이퍼 처리 도구가 제공됩니다. 이들은 웨이퍼 및 PCB의 정확하고 반복 가능한 처리를 보장하도록 설계되었습니다. 또한 조직적이고 안전한 직장 환경을 유지하기 위해 설계된 여러 가지 기타 (miscellaneous) 기능이 있습니다. 예를 들어, 장비에는 통합 안전 인터 록 (safety interlock) 및 표시등 시스템이 장착되어 있습니다. 안전 연동 장치 (Safety Interlock Unit) 는 기계의 우발적 작동을 방지하도록 설계되었으며, 표시등은 공구가 작동하는 방법을 사용자에게 알립니다. ATM-107/407은 효율적이고 안정적인 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 즉, 운영자 (operator) 의 오류를 최소화하고, 운영 품질과 속도를 보장하며, 최적의 생산성을 보장하는 동시에, 최고 수준의 정확성과 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 자산의 정확성은 수반되는 소프트웨어 제품군에 의해 더욱 향상됩니다. 이 테스트, 프로세스, 유지 관리 프로그램 모음은 샘플 작업의 제어 및 정확성을 향상시켜, 일관된 샘플 출력을 보장합니다.
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