판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-107-1 #9256423

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-107-1 Wafer Handler는 다목적 산업 자동화 툴로, 특히 정확한 웨이퍼 처리 프로세스를 위해 설계되었습니다. 모듈식 설계 (Modular Design) 를 통해 특정 작업 및 애플리케이션 요구 사항에 따라 다양한 맞춤형 구성 및 구성을 수행할 수 있습니다. BROOKS ATM-107-1의 기본 패키지는 다음과 같습니다. 인체 공학적 PC 기반 운영자 콘솔, 기계의 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 기반 제어, 자동 웨이퍼 전송 및 분할 장비, Micron MultiAx 격리 시스템 (웨이퍼 정렬을 보장하는 고급, 자동 처리 소프트웨어, 정밀 등록) 을 제공합니다. 이 기계에는 자동 시력 사전 정렬 시스템, 자동 테이핑, 고속 정렬 세라믹 카세트, 어레이 전송 지원, 웨퍼 (wafer) 보안 제어를 위한 고급 제품 추적 등 다양한 옵션이 제공됩니다. 자동 웨이퍼 전송 및 세분화 도구에는 수동 개입 없이 웨이퍼 조작, 운송 및 방향을 관리하는 스피너, 푸셔, 분리 된 컨베이어 벨트가 포함됩니다. Micron MultiAx 격리 자산 (Micron MultiAx isolation asset) 은 잠재적 오정 오류 수를 최소화하기 위해 프로세스 모듈에 도달하기 전에 각 웨이퍼가 정확하게 등록되고 정확하게 지향적임을 보장합니다. PRI AUTOMATION ATM-107-1은 또한 웨이퍼-웨이퍼 (wafer-to-wafer) 처리 (wafer split) 옵션으로 향상된 웨이퍼 처리 기능을 제공하여 개별 웨이퍼 슬라이스를 각 카세트로 분리하고 이동할 수 있습니다. 또한 ATM-107-1 대상 모델은 각 웨이퍼 대상 (특히 큰 도구를 처리 할 때) 을 정확하게 배치합니다. 또한 BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-107-1은 맞춤형 로봇 포지셔닝과 같은 정교한 추적 및 제어 모듈을 제공합니다. 프로세스 모니터링, 시각화 (Visualization), 검증 (Validation) 기능 뿐만 아니라, 웨이퍼 전송 및 처리 진행 상황을 포괄적으로 모니터링할 수 있습니다. 이 (가) 실시간 경보를 구성할 수 있도록 합니다. 이 경보를 사용하면 높은 수준의 생산성을 유지하고 계획에 따라 모든 프로세스가 이동하도록 할 수 있습니다. 전반적으로 BROOKS ATM-107-1 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 고도의 신뢰성 있는 자동화 툴로, 효율성을 크게 높이고 광범위한 웨이퍼 처리 프로세스에 필요한 시간을 단축합니다. 직관적인 GUI, 고급 프로세스 제어 (process control) 기능, 강력한 제품 추적 기능을 결합한 모듈식, 맞춤형 설계를 통해 모든 산업용 웨이퍼 처리 장비에 완벽한 선택이 가능합니다.