판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105 #99632

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105는 CMP, CVD 및 Etch와 같은 중급 웨이퍼 구성 응용 프로그램을 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 브룩스 (BROOKS) ATM-105 는 모듈식 장비로, 다양한 기판 및 프로세스를 수용하기 위해 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 캐리어 동작의 정확한 제어, 위치 및 속도의 정확한 측정, 안정성, 안정성, 일관성 및 반복 가능한 정확성을 제공하는 고속 평면 '인라인' 운송 시스템이 특징입니다. PRI AUTOMATION ATM 105는 또한 표준 LNC-1000 및 통신 패키지로 총 장비 제어를 제공합니다. 이 패키지에는 모든 프로세스 단계를 빠르게 설정하는 데 사용할 수 있는 장비 매개변수 (equipment parameter) 와 처리 레시피 (processing recipe) 를 정의하는 기능이 들어 있습니다. BROOKS ATM 105는 개선 된 웨이퍼 처리 메커니즘을 통합하여 처리 중 웨이퍼 다이빙을 최소화합니다. ATM 105 는 공압, 전기 및 기계적 구성 요소를 손쉽게 서비스할 수 있으며, 이를 통해 유지 보수가 용이해지고, 신속한 응답이 가능하며, 다운타임을 줄일 수 있습니다. 브룩스/프리 자동화 (BROOKS/PRI AUTOMATION) ATM 105는 각 카세트를 장치에 설치함에 따라 자동으로 보정하고, 다른 카세트를 설치하여 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 추적 및 전송을 보장합니다. 웨이퍼 방향을 위해 높은 정확도 검사 카메라를 연결하면 더 많은 정확도를 얻을 수 있습니다. PRI AUTOMATION ATM-105 (PRI AUTOMATION ATM-105) 는 자동 피쳐 식별을 통해 각 웨이퍼 서피스에 대해 어떤 경로를 취할지 고급 결정을 내릴 수 있습니다. 이 머신은 처리량을 향상시키고, 웨이퍼 기능을 실시간으로 정렬하고 검사하여 부가 (non-value) 작업을 줄입니다. ATM-105는 개인용 컴퓨터 제어 인터페이스로 최대 8인치 (직경) 의 웨이퍼를 처리하여 사용자에게 친숙한 작동을 제공합니다. 또한 장비, 운영자, 프로세스 관리 시스템에 대한 원격 액세스를 위한 이더넷 (Ethernet) 인터페이스도 제공합니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105는 안정적이고, 효율적이며, 안전한 자산으로, 다양한 프로세스 및 프로덕션 환경에서 사용할 수 있습니다. 높은 수준의 제어 및 정확성으로 미드레인지 Wafer 구성 프로세스에 이상적인 솔루션