판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105 #9256426
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BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105 Wafer Handler는 반도체 웨이퍼를 처리하도록 특별히 설계된 정교한 실험실 자동화 장비입니다. 정밀하고 안정적인 방식으로 웨이퍼를 로드, 언로드, 정렬, 오리엔테이션, 전달할 수 있는 완전 자동화, 컴퓨터 제어 장치입니다. 이 처리기 (handler) 는 빠르고 반복적으로 처리할 수 있는 프로세스를 만들어 실험실 효율성을 향상시키도록 설계되었으며, 수동 처리가 필요 없습니다. BROOKS ATM-105는 넓은 캐비닛을 갖추고 있으며, 직경이 최대 8 인치 인 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 카세트 로드 및 언로드, 스테이지 웨이퍼 처리, 자동 트레이 정렬, 최대 4 개의 웨이퍼 방향 (Wafer Orientation) 등 다양한 자동화 작업을 한 번에 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 이를 통해 PRI AUTOMATION ATM 105는 빠르고 정확한 웨이퍼 처리가 필요한 복잡한 작업에 적합합니다. ATM 105 (ATM 105) 에는 매우 민감한 모터 제어 (motor control) 및 동작 감지 시스템 (motion sensing system) 이 추가되어 웨이퍼 표면의 변형에 관계없이 웨이퍼를 정확하게 배치하고 정렬 할 수 있습니다. 따라서 웨이퍼 (wafer) 에서 전용 픽업 포인트를 빠르고, 정확하게 식별하고, 찾을 수 있으므로 안정성이 높아지고, 프로세스 속도가 빨라집니다. PRI AUTOMATION ATM-105 (PRI AUTOMATION ATM-105) 에는 프로세스가 안전하게 수행되도록 설계된 포괄적인 안전 및 모니터링 시스템도 포함되어 있습니다. 여기에는 과열 보호, 강제 연동 및 다양한 장애 모니터링 기능이 포함됩니다. ATM-105 는 강력한 자동화 기능 외에도, 간편한 유지 관리 및 문제 해결을 위해 설계되었습니다. 이 시스템에는 여러 진단 도구 (Diagnostic Tools) 와 자체 테스트 절차 (Self Test Procedure) 가 있으며, 긴급 상황의 경우 빠른 현장 서비스를 위해 전자 제품을 쉽게 제거할 수 있습니다. 전반적으로 BROOKS ATM 105 Wafer Handler는 자동화된 웨이퍼 처리를 위한 효율적이고 안정적인 시스템입니다. 정밀 모터 컨트롤 (motor control), 동작 감지 (motion sensing) 및 안전 모니터링 (safety monitor) 의 조합은 빠르고 안정적인 웨이퍼 처리가 필요한 실험실을위한 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다.
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