판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105 #9064558

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105는 반도체 생산의 고급 자동화 솔루션을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 이 툴은 프로세스 툴과 트레이 (tray tools and tray) 간에 웨이퍼를 전송하기 위한 완벽하게 통합된 플랫폼을 제공하며, 정확한 정확도와 제어가 가능합니다. 이 툴은 컴팩트한 모듈식 설계를 기반으로 하며, 쉽게 설치하고 유지 관리할 수 있습니다. 브룩스 ATM-105 (BROOKS ATM-105) 의 주 프레임은 견고한 알루미늄 판금 프레임워크로 만들어져 있어 처리량 요구량이 많을수록 매우 견고한 구조를 제공합니다. 높은 정확도 진공 기반 웨이퍼 처리 장비에는 듀얼 레일 진공 기반 셔틀 및 안정적인 그리퍼 조작을위한 웨이퍼 척 (Wafer Chuck) 이 포함됩니다. 고급 자동 진행 기능은 진공 기반 전송 레일 (Transfer Rail System) 의 모든 편차를 보완하여 수동 조정 없이 정확한 웨이퍼 처리를 보장합니다. 고속 모터 구동 로터리 액추에이터 (rotary actuator) 는 부드럽고 정밀한 회전을 보장하며, 정밀 선형 액추에이터는 매우 빠르고 부드러운 웨이퍼 인덱싱을 지원합니다. PRI AUTOMATION ATM 105 (PRI AUTOMATION ATM 105) 는 또한 공정 도구와 트레이 캐리어 사이에서 빠르고 원활한 웨이퍼 전송이 가능한 고급 한 손 로봇 암으로 설계되었습니다. 이 로봇 암 (robotic arm) 과 진공 기반 웨이퍼 처리 장치 (wafer handling unit) 의 조합으로 용지함에 대한 빠르고 일관된 로딩 및 언로드가 가능합니다. 또한, 고급 비전 안내 기계를 통해 PRI AUTOMATION ATM-105는 웨이퍼와 트레이를 정확하게 정렬하여 정확성과 반복 성을 보장합니다. ATM 105는 또한 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 포함한 강력한 제어 도구를 갖추고 있습니다. 이 제어 자산 (control asset) 은 모든 기능을 원격으로 직접 제어하며, 정확한 제어 및 상세한 프로세스 모니터링 기능을 제공합니다. 또한 GUI 는 사용자가 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 환경을 실시간으로 시각화 (Visualization) 할 수 있도록 하며, 이를 통해 운영자는 현재 데이터와 프로세스 정보를 손쉽게 볼 수 있습니다. 요컨대, BROOKS ATM 105 웨이퍼 핸들러는 강력하고 정확한 도구로서, 반도체 생산의 고급 자동화를 위한 고성능 웨이퍼 처리 솔루션을 제공합니다. 높은 정확도, 정밀도, 사용자 친화적 인터페이스를 갖춘 ATM-105 는 오늘날 반도체 제조에서 자동화 솔루션에 이상적인 선택입니다.