판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105 #293815417

ID: 293815417
빈티지: 2003
Wafer robot P/N: 6-0002-0324-SP Equipped with a vacuum end effector 2003 vintage.
BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105는 생산 프로세스 전반에 걸쳐 실리콘 웨이퍼의 수송 및 처리를 자동화하기 위해 반도체 제조 시설을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 이 고급 장비는 높은 정밀도, 안정성, 효율성을 제공하며, 궁극적으로 반도체 Fab의 생산성 및 생산성 향상에 기여합니다. 브룩스 ATM-105 웨이퍼 핸들러 (BROOKS ATM-105 wafer handler) 의 핵심에는 정교한 로봇 시스템이 있으며, 이 시스템에는 정밀 모터와 센서가 포함되어 있어 매우 정확한 웨이퍼 조작과 위치가 가능합니다. 이 장치는 다양한 크기와 재료의 웨이퍼 (wafer) 를 처리하여 광범위한 반도체 제조 공정과 호환성을 보장합니다. PRI AUTOMATION ATM 105는 모듈식 설계를 통해 리소그래피, 증착, 에칭, 도량형 도구와 같은 기존 웨이퍼 처리 장비에 쉽게 통합할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러의 로봇 암 (robot arm) 에는 특정 웨이퍼 크기와 유형에 맞춘 여러 개의 엔드 이펙터 (end-effector) 가 장착되어 있으며, 웨이퍼 처리 작업의 다양성과 유연성을 제공합니다. PRI AUTOMATION ATM-105 웨이퍼 핸들러의 주요 특징 중 하나는 고급 자동화 기능입니다. 이 기계는 자율적인 운영을 가능하게 하는 지능형 소프트웨어 (Intelligent Software) 와 알고리즘 (Algorithm) 을 갖추고 있으며, 인간의 개입을 최소화하고 웨이퍼 처리의 오류 위험을 줄입니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105의 자동화 기능은 또한 주기 시간과 처리량을 최적화하여 전체 장비 효과 (OEE) 를 향상시키는 데 기여합니다. 자동화 외에도 BROOKS ATM 105는 고급 웨이퍼 추적 및 모니터링 기능을 제공합니다. 이 도구에는 웨이퍼 포지셔닝, 방향, 품질에 대한 실시간 피드백을 제공하는 센서와 카메라가 장착되어 있습니다. 이 데이터는 프로세스 제어를 위해 필수적이며, 반도체 장치의 무결성을 보장합니다. ATM-105의 또 다른 주요 측면은 업계 최고의 안정성과 가동 시간입니다. 이 자산은 고품질 부품과 재료로 제작되었으며, 반도체 제조 환경을 요구하는 견고성과 수명을 보장합니다. 또한 Wafer Handler 는 유지 보수 및 서비스가 간편하고, 다운타임을 줄이고, 생산성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, ATM 105 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 가짜의 장비와 인력을 모두 보호하기 위해 고급 안전 기능을 통합합니다. 이 모델에는 충돌 방지, 작동 중 위험 요소 완화, 센서 및 인터 록 (interlock) 이 장착되어 있습니다. 또한 BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105는 반도체 제조 설비의 안전에 대한 업계 표준 및 규정을 준수합니다. 전반적으로 BROOKS ATM-105는 정밀도, 자동화, 신뢰성 및 안전성을 결합한 최첨단 웨이퍼 핸들러로, 반도체 Fab의 발전하는 요구를 충족시킵니다. 고급 로봇, 지능형 소프트웨어 및 견고한 디자인으로 PRI AUTOMATION ATM 105는 반도체 제조업체가 웨이퍼 처리 작업에서 경쟁력을 발휘하여 궁극적으로 반도체 생산에서 효율성, 생산량, 품질을 향상시킵니다.
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