판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105-1-S #293647986

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-S는 반도체 자동 청소실 생산에 사용되는 아트 웨이퍼 핸들러 상태입니다. 여러 구성 요소로 구성된 BROOKS ATM 105-1-S는 정확한 정확성과 반복성으로 웨이퍼를 정렬, 전송 및 처리 할 수 있습니다. PRI AUTOMATION ATM 105-1-S의 주요 구성 요소는 웨이퍼 핸들러 자체이며, 이는 진동 급지대와 선형 픽/플레이스 메커니즘으로 구성됩니다. 진동 급지대 (vibratory feeder) 는 작은 여러 패키지 웨이퍼 어셈블리를 트랙에 보냅니다. pick and place 메커니즘은 이러한 각 패키지를 식별하여 적절한 전송 위치로 전달합니다. 핸들러는 다양한 크기의 웨이퍼에 맞게 조정 될 수 있으며, 패키지 당 최대 200 개의 웨이퍼 (wafer) 의 로드 베어링 용량을 갖습니다. ATM 105-1-S에는 웨이퍼 검사 정렬, 쌓기 및 모니터링을위한 비전 도구도 있습니다. 또한 시력 도구 (vision tool) 를 사용하여 모든 웨이퍼가 클리어룸 환경의 올바른 방향에 배치됩니다. 매우 정확한 이미징 시스템은 또한 웨이퍼 크기, 두께 및 곡률의 변형을 허용합니다. 이 웨이퍼 핸들러는 또한 ATEX 및 SEMI 안전 표준을 완전히 준수하여 웨이퍼 오염 또는 손상 위험을 줄입니다. 또한 BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-S는 ESD 안전 표준을 준수하여 청소 실 내부의 민감한 장치를 보호합니다. BROOKS ATM 105-1-S 는 연결 기능 및 네트워킹을 내장하여, 보다 큰 규모의 자동 제조 프로세스에 통합할 수 있습니다. 또한 모듈식 (modular) 으로 확장이 가능하므로 필요에 따라 쉽게 배포하고 업그레이드할 수 있습니다. 또한, 개방형 아키텍처로 구축되어 레거시 디바이스 (legacy device) 와 최신 모델과 통신할 수 있습니다. 전반적으로 PRI AUTOMATION ATM 105-1-S (PRI AUTOMATION ATM 105-1-S) 는 클린 룸 생산 환경에서 섬세한 웨이퍼를 정렬, 전송, 검사 및 오리엔테이션 할 수있는 신뢰성이 높은 웨이퍼 핸들러입니다. 고급적이고 효율적인 메커니즘을 사용하여 안전 (safety) 을 저해하지 않고 제조 비용을 줄이고 정확성을 향상시킵니다. 또한, 모듈성을 통해 더 큰 자동 생산 프로세스에 쉽게 통합할 수 있습니다.