판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE #9197649

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE 웨이퍼 핸들러는 최첨단 초고속 동작 기능을 통해 뛰어난 수율과 신뢰성을 제공하도록 설계된 고성능 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 기계는 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 포지셔닝 (wafer positioning) 을 위해 설계되었으며, 반도체 및 웨이퍼 레벨 집적 회로 생산에 최적의 프로세스 안정성과 수율을 제공합니다. BROOKS ATM-105-1-S-CE는 최대 12 인치 (300mm) 웨이퍼를 처리 할 수 있으므로 대용량 생산에 적합합니다. 매우 빠른 동작 시스템을 갖추고 있으며, 고속, 고밀도 리니어 모터, 소형 듀얼 축 서보 모터, 독점 초고속 스테퍼 모터를 포함하여 빠르고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 나노 미터 레벨 포지셔닝 및 반복 성을 제공합니다. 또한, 이 기계는 매우 단단하고 큰 프로파일 간트리 (ganary) 디자인을 특징으로하여 정확도가 높은 나노 프로세싱에 적합합니다. PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE 는 또한 주기 시간을 줄이고 처리량을 늘리기 위한 여러 가지 고급 기능을 통합합니다. 예를 들어, ARL (Adaptive Recipe Learning) 기술을 활용합니다. ARL (Adaptive Recipe Learning) 기술은 각 개별 웨이퍼에 대한 최적의 처리 조건을 자동으로 학습하고 기계의 실시간 측정을 기반으로 가장 효율적인 레시피를 생성합니다. 또한, 기계에는 챔버 및 해당 구성 요소의 이벤트 별 작업을 측정, 기록 및 보고하는 도구 중심 모니터링 장치 인 RTM (Real-Time Tool Action Monitoring) 이 장착되어 있습니다. 이는 최적의 작동을 보장하며, 추가 분석 및 추가 프로세스 최적화를 위한 데이터를 제공합니다. ATM-105-1-S-CE는 또한 MCLU (Multiple Chamber Loading/Unloading) 를 통합하여 프로세스 레시피가 다른 웨이퍼를 지속적으로 생산할 수 있습니다. 또한, 프로그래밍 가능한 경보, 자체 진단 및 경고 시스템을 제공하는 정교한 사용자 인터페이스가 있습니다. 이 도구는 또한 안전한 생산 환경을 유지하기 위해 안전 지대 (Safety Zone), 레이저 센서 (Laser Sensor) 및 자동 중단 사이클 (Auto-abort cycle) 과 같은 다양한 안전 기능을 제공합니다. 전반적으로 BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE 웨이퍼 처리기는 안정성이 높고, 효율적이며, 정확한 웨이퍼 처리 기계로, 최고의 프로세스 수율을 제공합니다. 대용량 웨이퍼 (wafer) 수준의 집적 회로와 반도체 생산에 적합하며, 첨단 마이크로 포지셔닝 기술로 나노 프로세싱에 적합합니다. 광범위한 기능과 기능으로, 매우 매력적이고 경제적인 자산입니다.