판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE #9194553

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE는 웨이퍼 처리 장비의 효율성을 극대화하기 위해 설계된 다중 축 웨이퍼 핸들러입니다. BROOKS ATM-105-1-S-CE는 정확하고 정밀하게 웨이퍼를 스캔, 슬라이싱, 로드/언로드할 수 있는 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 핸들러는 작고 정교한 웨이퍼에도 반복 가능한 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 동작 및 최고 달성 가능한 처리량을 제공합니다. PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE는 컨트롤 보드, I/O 보드 및 인코더 보드를 포함하여 4 개의 보드로 구성됩니다. 제어 보드에는 Microsoft Windows 95/98/00/NT 운영 체제와 함께 Stepper Motor Controller 카드가 설치된 IBM PC 기반 시스템이 포함되어 있습니다. 스테퍼 모터를 구동하는 I/O 보드는 전자 부품 (electronics assembly) 의 가장자리에 있습니다. 인코더 보드는 스테퍼 모터 (stepper motor) 로부터 펄스를 받으며, 전자 부품은 시스템 온도를 모니터링하는 역할을 합니다. 스테퍼 모터 및 인코더 보드는 중앙 프로세서 (CPU) 및 메모리에 직접 연결됩니다. ATM-105-1-S-CE는 다양한 스캔 및 슬라이싱 기능과 최적화된 OEM 웨이퍼 처리 소프트웨어 패키지를 갖추고 있습니다. 웨이퍼 핸들러에는 특허 받은 "부드러운 (Smooth)" 스캐닝 모드가 포함되어 있어 반복 가능하고 매우 정확한 웨이퍼 슬라이싱 성능을 제공합니다. 또한 여러 웨이퍼 크기 처리 및 슬라이싱 (slicing) 작업을 지원하므로 다양한 웨이퍼 기반 응용 프로그램에 적합합니다. 조작된 최대 웨이퍼 크기는 지름 8 인치 (8 인치) 이지만, 적절한 어댑터가 설치된 경우 더 큰 웨이퍼도 처리 할 수 있습니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE 에는 전자 속도 (electronic speed) 와 같은 표준 수의 기능이 포함되어 있어 처리 속도가 빨라집니다. 그 편리한 슬라이딩 플레이트는 진공 흡입 컵 (vacuum suction cup) 과 저력 그리퍼 (low-force gripper) 와 함께 웨이퍼 (wafer) 의 활성 표면에 닿지 않고 웨이퍼로드 및 언로드를 허용합니다. 또한, 재순환 볼 스크루는 부드럽고 부드러운 웨이퍼 동작을 허용하며, 이는 청소 목적에 중요합니다. 마지막으로, 웨이퍼 핸들러는 라이브 그래픽 디스플레이와 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 이 사용자 인터페이스에는 플랜트 플로어 작동을 허용하는 PLC (programmable logic controller) 가 포함되어 있으며, 외부 장치를 연결하거나 UPW plantwide monitoring systems와 같은 시스템에 연결하기 위해 여러 통신 포트가 제공됩니다. 최첨단 모터 컨트롤러 설계를 갖춘 BROOKS ATM-105-1-S-CE는 비트하기 어려운 수준의 웨이퍼 처리 처리량과 정확성을 제공합니다.