판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM 105-1-P #152181
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BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-P는 반도체 장치의 테스트 및 분석을 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 기계는 고급 로봇 자동화 및 통합 컨트롤을 제공하여 반도체 웨이퍼를 정확하게 이동 및 검사합니다. BROOKS ATM 105-1-P에는 소형화 된 웨이퍼 처리를 전문으로하는 멀티 축 로봇 암 (multi-axis robot arm) 이 포함되어 있으며 초당 최대 15 개의 웨이퍼 이동을 수행 할 수 있습니다. 24 개의 VDC 서보 드라이브 장비로 구동되며, 4 개의 독립적으로 제어되는 스테퍼 모터가 장착되어 있으며, 이중 속도 주파수 드라이브가 장착 된 4 축 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 또한 PRI AUTOMATION ATM 105-1-P (PRI AUTOMATION ATM 105-1-P) 는 통합 비전 시스템을 갖추고 있어 처리 중 웨이퍼를 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 이 기계는 높은 진동 환경 (High Vibration Environment) 을 포함한 다양한 테스트 조건에서 정확하게 작동 할 수 있습니다. Elektronik DTR 안전 장치 (Elektronik DTR Safety Unit) 가 장착되어 있어 기계의 안전한 작동을 보장하고 운영자의 부상을 방지합니다. ATM 105-1-P 또한 통합 비전 머신 (vision machine) 으로 향상되어 웨이퍼를 정확하게 시각적으로 정렬 할 수 있습니다. 기계는 기존 테스트 설정 (test setup) 에 통합될 수 있으며, 다양한 테스트 프로토콜을 수용하도록 쉽게 구성할 수 있습니다. 또한 BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-P 웨이퍼 핸들러에는 사용자 친화적 인 터치 스크린 인터페이스, 수동 버튼 컨트롤러 및 PC 인터페이스와 같은 여러 가지 사용자 친화적 인 기능이 있습니다. 이 시스템은 또한 포괄적인 피드백 모니터링 (feedback monitoring) 및 실시간 데이터 로깅 시스템 (Data-Time Logging System) 을 갖추고 있어 기계적 오류를 쉽게 해결하고 식별할 수 있습니다. 전반적으로 BROOKS ATM 105-1-P 웨이퍼 핸들러는 반도체 장치의 정확한 테스트 및 분석을 위해 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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