판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS #9116241
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BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-2-S-RHS는 생산성을 높이고 웨이퍼 처리량을 늘리기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 하이엔드 처리량과 정확도를 제공하는 2 단계 핸들러 (handler) 유닛으로, 200mm 정도라도 프로세스 간에 광범위한 반도체 웨이퍼를 전송할 수 있습니다. 정교한 기능과 높은 수준의 운영자 제어 기능을 갖춘 BROOKS ATM-105-1-2-S-RHS는 모든 반도체 제조 시설에 완벽한 선택입니다. 핸들러 장치의 첫 번째 단계는 웨이퍼 입력 카세트 로더 (Wafer Input Cassette Loader) 로, 운영자는 8 인치 웨이퍼 카세트에서 최대 2 개의 웨이퍼를 빠르고 정확하게 적재 할 수 있습니다. "웨이퍼 '는 가장 높은 처리량 과 정확성 을 보장 하기 위해 로드 및 언로드 중 에 굳게 고정된다. 그런 다음 핸들러 (handler) 의 이중 축 (dual-axis) 로봇 팔에 의해 웨이퍼가 옮겨집니다. "로봇 '은 움직 이는 범위 가 넓기 때문 에 다양 한" 웨이퍼' 크기 를 수용 하도록 조정 할 수 있다. 처리기의 두 번째 단계는 처리 영역 (Processing Area) 으로, 일련의 화학 및 물리적 처리 모듈이 포함되어 있습니다. 프로세서 모듈은 생산성과 생산성을 극대화하기 위해 광범위한 화학, 전기, 기계 프로세스 매개변수를 유지하도록 설계되었습니다. 이 모듈은 특정 고객 요구사항에 부합할 수 있으며, 새로운 기술을 수용하도록 수정할 수도 있습니다 (영문). PRI AUTOMATION ATM-105-1-2-S-RHS는 매우 신뢰할 수있는 장치로, 견고한 디자인으로 제작되었습니다. 이 구성 요소는 유지 보수 및 모니터링을 용이하게 하기 위해 설계되었으며, 이를 통해 수명이 길어집니다. 핸들러 (Handler) 가 제공하는 다양한 기능을 통해 자동화된 웨이퍼 (Wafer) 처리에 가장 안정적이고 효율적인 솔루션 중 하나입니다. 전반적으로 ATM-105-1-2-S-RHS는 뛰어난 성능과 안정성을 제공하는 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 광범위한 웨이퍼 크기를 처리할 수 있는 BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-2-S-RHS는 생산 효율성과 안정성을 향상시키려는 모든 반도체 제조업체에 이상적인 솔루션입니다.
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