판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS #9116101

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS는 단일 웨이퍼 기판 처리를 위해 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 시간당 최대 1,200 개의 웨이퍼를 달릴 수 있으며 6 ~ 8 인치 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러는 BROOKS ATM Wafer Inspection 및 Metrology Equipment (예: ATM 210-600-100-S) 와 직접 통합되도록 구성됩니다. 또한 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 와 도량형 시스템 트랙 사이의 웨이퍼 이동을 위해 ZED Automation 로봇 암에 연결할 수 있습니다. BROOKS ATM 105-1-2-S-RHS는 스테인리스 스틸 프레임으로 제공되며, UL 등급이며, JEDEC 청소실 표준을 충족하는 위생 설계가 특징입니다. 운영자의 웨이퍼 언로드 요구 사항에 따라 핸들러 (Handler) 를 장치의 양쪽에서 실행할 수 있는 양면 모드 (Dual-Sided Mode) 가 포함되어 있으므로 최대 150 개의 웨이퍼 카세트를 장치에 안전하게 배송 할 수 있습니다. 이 장치에는 안전 도어 (Safety Door) 가 있습니다. 이 도어는 장치 작업을 수행하는 동안 기계 통합 요원이 잠재적 인 피해로부터 보호합니다. PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS는 3 상 110 또는 208V 전원이 장착된 AC 드라이브 도구로 구동되며 0-200 절반/분 속도로 자동 실행할 수 있습니다. 또한 PWM (pulse-width-modulated) 모션 컨트롤, 1024 펄스/레볼루션 해상도의 광학 인코더를 갖추고 있어 매우 정확한 모션 제어 및 TeachPendant 통신 자산을 유지합니다. PWM 및 최적화 기술을 사용하면 장치가 모든 동작을 0.001 인치 반복 가능으로 유지할 수 있습니다. 모든 내부 드라이브, 센서, 제한 스위치, 전기 시스템은 적절한 작동을 위해 PLC 및 HMI 제어를 받습니다. ATM 105-1-2-S-RHS는 또한 진공 척 (vacuum chuck) 모델을 사용하여 장치에 웨이퍼를 정확하게 배치하고 로드합니다. 이 장치에는 레이저 센서 (laser sensor) 와 비전 장비 (vision equipment) 가 포함되어 있어 웨이퍼가 누락되면 직접 웨이퍼 방향을 지정하고 연산자를 업데이트합니다. 또한, 이 장치에는 중단 감지 시스템 (Interruption Detection System) 이 장착되어 있어 웨이퍼 이동이 일관되고 중단된 웨이퍼가 정확하게 재지향 및 경로로 돌아갑니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS는 효율적이고 안정적인 웨이퍼 처리기로, 고급 기술 처리 요구에 맞게 설계되었습니다. 고급 기능 (Advanced Features and Function) 은 운영 효율성과 안전성을 향상시키는 반면, 위생 설계는 안전한 작업 환경을 보장합니다. 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 빠른 생산률을 유지하고 곡선 (Curve) 보다 앞서갈 수있는 신뢰할 수있는 유닛을 찾는 사람들에게 완벽한 선택입니다.