판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS #185016

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS는 높은 정확도 웨이퍼 전송 및 정렬을 가능하게하도록 설계된 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 직경 200mm까지 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 2 축 로봇 암을 사용하여 다른 카세트 시스템 사이에서 웨이퍼를 이동합니다. 수동 제어 하에 "웨이퍼 '를 최대 3 개 축 으로 이동 시키도록" 암' 을 "프로그램 '할 수 있다. BROOKS ATM 105-1-2-S-RHS에는 웨이퍼 인식을위한 광학 센서가 장착되어 있으며, 올바른 카세트 장비에 각 웨이퍼를 정확하게 찾고, 배치하고, 정렬 할 수 있습니다. 또한 "비전 '" 시스템' 을 사용 하여 전송 중 에 "웨이퍼 '의 방향 을 정하고 정렬 할 수 있다. 또한, 로봇 암을 필요에 따라 클램프 (clamp) 및 클램프 해제 할 수 있습니다. PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS는 안정적이고 반복 가능하며 안전한 웨이퍼 처리 솔루션으로 설계되었습니다. 최소한의 연산자 개입이 필요하며, 로봇 암을 프로그래밍하려면 기본 사용자 입력 만 필요합니다. 이 장치는 또한 작동 전/후 자체 테스트 (self-testing procedure before and after operation) 를 사용하여 진단 테스트를 자동으로 실행하고 오류가 발생할 수 있는 오류를 확인하고 보고할 수 있습니다. ATM 105-1-2-S-RHS는 단단한 알루미늄 프레임으로 구성되며 먼지 필터를 포함하여 깨끗한 작동 조건을 보장합니다. 또한 산 센서 (Acid Sensor) 와 화재 억제제 (Fire Suppressant Machine) 를 포함한 요원의 장기적인 안전을 보장하는 안전 구성 요소 세트가 장착되어 있습니다. 이 도구에는 필요에 따라 추가 안전 옵션이 장착 될 수도 있습니다. 마지막으로 BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS는 광범위한 웨이퍼 처리 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 이것은 다양한 반도체 제조, 연구, 실험실 시설에 사용하기에 적합합니다. 높은 정확성, 프로그래밍성 및 신뢰성을 갖춘 BROOKS ATM 105-1-2-S-RHS는 자동 웨이퍼 전송 및 정렬에 이상적인 솔루션입니다.