판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-100 #9064556

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-100은 최신 전자 제품 및 반도체 제조 시설의 요구를 충족하도록 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치는 다중 축 동작 장비, 고속 로봇 암, 디지털 이미지 처리를 활용하여 다양한 크기와 모양으로 빠르고, 정확하게 이동, 청소, 검사, 및 전송합니다. BROOKS ATM-100은 다양한 기능을 수행하는 3 개의 고해상도 카메라가있는 고급 비전 시스템을 갖추고 있습니다. 통합 비전 (Integrated Vision) 장치는 배치 중 웨이퍼의 위치 및 방향을 수정하고 빠른 모서리와 코너 인식 (Corner Recognition) 기능을 제공합니다. 통합된 비전 기반 (vision-based) 알고리즘을 사용하면 각 웨이퍼의 위치를 안정적으로 배치하고 반응할 수 있습니다. 통합 비전 머신 (Integrated Vision Machine) 을 사용하면 핸들러가 다른 웨이퍼 유형을 구분하고 중요한 치수와 불완전성을 확인할 수 있습니다. PRI AUTOMATION ATM-100은 또한 개방형 및 닫힌 FOUP 컨테이너를 모두 처리하는 통합 열 FOUP (front opening unified pod) 처리 도구를 사용하여 웨이퍼 로더에서 다른 처리 장비로 반자동 전송할 수 있습니다. 이 장치는 진공 기반 웨이퍼 처리 기술 (vacuum-based wafer handling technology) 을 갖추고 있으며, 가장 높은 처리량과 정확도를 유지하면서 부드럽고 정확한 부품 처리를 제공할 수 있습니다. ATM-100은 또한 연산자의 요구를 충족시키기 위해 프로그래밍 된 애플리케이션별 처리 알고리즘을 제공합니다. 이 기술을 사용하면 효율적인 사용자 의존 부품 처리 루틴이 가능합니다. 이 장치에는 또한 전용 Secure Semiconductor Data Exchange Protocol이 포함되어 있어 웨이퍼 정보의 안전한 데이터 교환을 통해 유연성과 생산성을 확보할 수 있습니다. 안전성 측면에서 BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-100에는 수동 로드/언로드 안전 영역 (Manual Load and Unload Safety Zone) 및 외부 비상 정지 (Emergency Stop) 및 경보 시스템 모니터링 및 연결을 위한 표준 입/출력 포트가 포함됩니다. 이 장치는 또한 가압 슬리브 및 질소 기어 클린 룸 프로토콜을 포함한 오염 프리 방법을 사용합니다. 요약하면, BROOKS ATM-100은 고급 비전 시스템, 진공 기반 처리, 애플리케이션별 처리 알고리즘 및 독점 보안 반도체 데이터 교환 프로토콜 (Proprietary Secure Semiconductor Data Exchange Protocol) 을 사용하여 최신 전자 제품 및 반도체 제조 시설의 성능을 극대화하는 포괄적 인 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치에는 또한 입출력 포트 (input/output port) 및 사용자를 보호하기 위해 질소 기어 청소 실 프로토콜과 같은 안전 기능이 포함되어 있습니다.