판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION Aerotrack #9099516

BROOKS/PRI AUTOMATION Aerotrack은 가장 까다로운 반도체 제작 어플리케이션의 요구를 충족하도록 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장비는 자동화된 웨이퍼 로더/언로더로, 다른 프로세스 툴과 관련 장비 간에 여러 웨이퍼를 빠르고 안정적으로 전송할 수 있습니다. 많은 칩 제조 라인을 위한 비용 효율적인 공간 절약 솔루션을 제공합니다. 브룩스 에어로트랙 (BROOKS Aerotrack) 은 공간 사용량 (space usage) 을 최소화하면서 여러 웨이퍼 전송 (wafer transfer) 을 가능하게 하여 웨이퍼를 빠르고 쉽게 로드할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템은 로드/언로드 작업 중에 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 이동을 제공하는 관절 로봇 암 (articulated robot arm) 을 사용합니다. 최대 200mm 직경, 최대 10kg 무게로 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 이 "로봇 '은 여러 가지" 웨이퍼' 와 여러 가지 프로세스 를 수용 할 수 있는 최대한의 유연성 을 제공 하도록 설계 되었다. 자동 웨이퍼 검사 (automated wafer inspection) 에서 다이 본드 (die bond) 에 이르기까지 다양한 워크스테이션에 빠르게 적응할 수 있습니다. PRI AUTOMATION Aerotrack의 고정밀 모션 제어 및 통합 안전 (Integrated Safety) 기능은 다양한 운영 환경에서 안전하고 안정적인 운영을 보장합니다. 또한 추가 안전을 위해 충돌 방지 보호 기능이 있습니다. 고급 제어 장치 (Advanced Control Unit) 는 개별 웨이퍼, 추적 부품 번호 및 일련 번호 (Serial Number) 에 대한 일반 및 특정 정보와 함께 자동 처리 작업을 수행할 수 있습니다. 로봇은 AC 서보 모터로 구동되며, 낮은 진동으로 고속, 정확한 입방 움직임을 수행 할 수 있습니다. 에어로트랙은 컨트롤러, 프린터, 카메라, 기타 관련 프로세스 장비 등 다양한 유형의 외부 장비로 인터페이스 (interface) 할 수 있습니다. 다른 기능으로는 기계 작동을위한 직관적인 플랫폼을 제공하는 완전한 기능의 터치 스크린 인터페이스 (touch-screen interface) 가 있습니다. 이 기계에는 다른 자동 시스템과의 통신을 위해 SMEMA 호환 포트도 장착되어 있습니다. 전반적으로 BROOKS/PRI AUTOMATION Aerotrack은 고급적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러로, 웨이퍼 처리를 위한 최고의 효율성과 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 기구 의 정교 한 특징 과 안전 장치 는 "반도체 '제조" 라인' 이 그 들 의 운영 을 자동화 시키고자 하는 이상적 인 도구 가 되게 한다. 직관적인 터치스크린 (touch-screen) 인터페이스와 다른 장비와의 손쉬운 통합을 통해 다양한 어플리케이션을 위한 완벽한 솔루션이 될 수 있습니다.