판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION Aerotrack #293755019
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BROOKS/PRI AUTOMATION Aerotrack은 고급 반도체 제조 공정을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 이 혁신적인 장비는 반도체 제작에 필요한 최고 수준의 정밀도, 안정성, 정결성 (Cleanliness) 을 유지하면서 클린 룸 (Clean Room) 환경 내에서 웨이퍼를 효율적으로 운송하도록 특별히 설계되었습니다. 브룩스 에어로트랙 웨이퍼 핸들러 (BROOKS Aerotrack wafer handler) 는 반도체 자동화 재료 처리 시스템의 중요한 구성 요소로, 리소그래피, 증착, 에칭 및 도량형 장비와 같은 다양한 프로세스 도구 사이에서 완전하게 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 첨단 디자인 (Advanced Design) 은 반도체 제조 설비에서 최적의 성능과 생산성을 보장하는 다양한 최첨단 기능과 기술을 갖추고 있습니다. PRI AUTOMATION Aerotrack 웨이퍼 핸들러의 주요 기능 중 하나는 고속 및 대용량 웨이퍼 전송 기능입니다. 이 시스템은 표준 200mm 및 300mm 웨이퍼를 포함한 다양한 웨이퍼 크기와 첨단 반도체 공정에 사용되는 고급 (Advanced) 대형 웨이퍼 (Wafer) 를 처리 할 수 있습니다. 이러한 유연성을 통해 반도체 제조업체는 생산 라인 내에서 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 유형을 수용하여 운영 효율성과 유연성을 향상시킬 수 있습니다. 에어로트랙 웨이퍼 핸들러 (Aerotrack wafer handler) 는 고급 로봇 기술을 사용하여 최고 수준의 정확성과 정확도로 웨이퍼를 조작하고 운송합니다. 이 장치의 로봇 암 (robotic arm) 에는 수송 중 웨이퍼를 단단히 잡아 배치하여 손상 또는 오염 위험을 최소화하는 정교한 엔드 이펙터 (end effector) 가 장착되어 있습니다. 또한 로봇을 사용하면 BROOKS/PRI AUTOMATION Aerotrack 기계가 속도 및 신뢰성을 갖춘 복잡한 웨이퍼 처리 작업을 수행하여 반도체 제조 작업에서 일관되고 반복 가능한 성능을 보장할 수 있습니다. BROOKS 에어로트랙 (Aerotrack) 웨이퍼 핸들러는 정확한 웨이퍼 처리 기능 외에도 생산 프로세스를 간소화하고 전체 장비 효율성을 향상시키는 고급 자동화 기능으로 설계되었습니다. 이 도구에는 웨이퍼 전송 경로를 최적화하고, 생산 일정에 따라 웨이퍼 이동을 우선시하며, 도구 상호 작용 간의 유휴 시간을 최소화하는 지능형 소프트웨어 (Intelligent Software) 알고리즘이 있습니다. 이러한 지능형 자동화는 생산성을 높일 뿐만 아니라 인적 오류 (human error) 를 줄일 수 있으며 운영 일관성 (operating consistency) 을 높여줍니다. 또한, PRI AUTOMATION Aerotrack 웨이퍼 핸들러는 청결 및 오염 제어, 반도체 제조 환경의 중요한 요소에 중점을 두어 설계되었습니다. 이 자산은 오염 물질의 섭취를 방지하고 깨끗한 웨이퍼 처리 환경을 유지하기 위해 통합 입자 여과 (integrated particle filtration) 및 클린 룸 호환 재료를 갖춘 완전히 밀폐 된 디자인을 특징으로합니다. 이 청정실 호환성은 웨이퍼가 반도체 장치 품질 (quality and revield) 을 손상시킬 수있는 유해 입자 또는 잔해로부터 보호됩니다. 전반적으로 에어로트랙 웨이퍼 (Aerotrack wafer) 핸들러는 생산 시설의 웨이퍼 처리 효율성, 신뢰성 및 청결성을 향상시키려는 반도체 제조업체를위한 최첨단 솔루션을 나타냅니다. 브룩스/프리 오토메이션 에어로트랙 (BROOKS/PRI AUTOMATION Aerotrack) 모델은 첨단 기능과 기술을 바탕으로 반도체 기업들이 생산성, 수익률, 프로세스 제어 수준을 높여 경쟁력 있는 반도체 시장에서 성공을 위해 포지셔닝할 수 있도록 지원합니다.
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