판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM/ATM 405/407 #293637481
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BROOKS ABM/ATM 405/407은 반도체 산업의 요구를 충족하도록 설계된 고속 웨이퍼 핸들러입니다. 사용 가능한 가장 고급 웨이퍼 처리 시스템 중 하나입니다. 이 장비에는 두 가지 유형의 웨이퍼 처리 (자동화 또는 수동) 가 있습니다. 자동화 모드는 카세트에서 카세트로의 자동 전송 프로세스를 통해 고속 작동을 제공합니다. 수동 (Manual) 모드는 웨이퍼를 보다 복잡하게 검사하는 데 사용되며, 오류를 수정하고 웨이퍼 이동을 수정하는 데 사용됩니다. 이 시스템에는 최종 제품을 검사하고 검증하기 위한 다양한 품질 보증 (Quality Assurance) 옵션도 포함되어 있습니다. PRI AUTOMATION ABM/ATM 405/407의 최고 속도는 시간당 최대 2000 웨이퍼입니다. 이 장치는 대부분의 대용량 웨이퍼 라인 (wafer line) 프로세스와 호환되며, 특정 웨이퍼 라인의 특정 요구를 충족하도록 구성할 수 있습니다. 가변 웨이퍼 직경과 두께, 가변 웨이퍼 카운트, 다른 로트 크기, 가변 로트 시퀀스 등 다양한 프로그래밍 가능한 기능이 있습니다. ABM/ATM 405/407에는 자체 포함 카세트 대 카세트 웨이퍼 전송 프로세스도 있습니다. 대부분의 웨이퍼 캐리어를 수용하여 기능을 최대화하도록 설계되었습니다. 또한 열 보호, 내장 진단, 추적 (track-and-trace) 기능 등 다양한 시스템 상태 및 안전 기능을 갖추고 있습니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ABM/ATM 405/407은 유지 보수가 용이하며, 철저한 문서와 온라인 지원이 간편합니다. ABM/ATM 405/407은 안정적이고 효율적인 웨이퍼 핸들러로, 대용량 웨이퍼 라인을 보다 효율적이고, 효과적이며, 수익성이 높아집니다.
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