판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293 #9171112

BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293은 고급 웨이퍼 핸들러로, 반도체 제조 산업에서 안전하고 통제 된 방식으로 웨이퍼 기판의 움직임을 촉진하기 위해 사용됩니다. 이 장치는 오염을 최소화하고 웨이퍼 (wafer) 기판을 손상시켜 생산 비용을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. BROOKS ABM-407B-1-S-CE-S293은 작은 프레임 크기로, 다양한 크기의 개별 및 연속 웨이퍼를 모두 처리 할 수 있습니다. 웨이퍼 두께 변동에 대한 최대 허용 한도는 ± 25µm (± 25äm) 로, 웨이퍼는 수송 경로를 따라 안전하고 원활하게 이동하도록 보장합니다. 또한 높은 정확도, 고속, 안정성 (stability) 으로 구축되어 안전하고 안정적인 방식으로 지점마다 정확하고 빠르게 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293은 진공 및 기계식 웨이퍼 로딩과 함께 작동하도록 설계되었습니다. 통합 로터리 리프트 (rotary lift) 와 서보 리프트 (servo lift) 는 웨이퍼의 정확한 위치와 정렬을 보장하므로 섬세한 웨이퍼 서명이 그대로 유지됩니다. 정교한 동작 제어 시스템 (Motion Control System) 은 고급 알고리즘을 사용하여 잘못된 정렬을 수정하고 웨이퍼 처리 프로세스 동안 진동 또는 충돌을 방지합니다. ABM-407B-1-S-CE-S293은 또한 진동 격리, 기후 제어 및 진동 댐핑 시스템을 통합하여 "로봇 '암의 움직임이 불필요한 소음 또는 진동에서 벗어나게 합니다. 이로 인해 웨이퍼 손상 위험이 줄어들고 오염이 최소화됩니다. 또한 건조 한 "클린 '기지 와" 포오트' 로 "시스템 '으로부터 공기 와" 가스' 를 제거 하여 오염 으로부터 "웨이퍼 '를 더욱 보호 해 준다. BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293에는 진공 펌프, 그리퍼, 선형 액추에이터 및 모터 드라이버의 연결을 지원하는 다양한 인터페이스를 포함하여 다양한 인터페이스가 제공됩니다. 이렇게 하면 엔트리 레벨 시스템부터 복잡한 자동화 애플리케이션까지 다양한 웨이퍼 (wafer) 제조 시스템과 호환됩니다. 또한 풀 머신 비전 (full machine vision) 시스템과 호환되므로 고급 모션 제어 및 추적 기능을 사용할 수 있습니다. 결론적으로, BROOKS ABM-407B-1-S-CE-S293은 매우 정확하고 신뢰할 수있는 동작 제어를 제공하면서 민감한 웨이퍼 기판을 오염 및 기타 손상으로부터 보호하도록 설계된 고급 소형 웨이퍼 핸들러입니다. 진동 및 기후 제어 시스템, 드라이 클린 베이스 (dry clean base), 종합 인터페이스 (comprehensive interface) 를 통해 광범위한 웨이퍼 유형과 제조 시스템을 처리 할 수 있습니다.