판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293 #293657679

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ID: 293657679
빈티지: 2007
Robot 2007 vintage.
BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293은 반도체 웨이퍼의 자동 처리를 위해 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 고정밀도 및 고속 기능으로 효율적이고 빠른 웨이퍼 전송 솔루션을 제공합니다. BROOKS ABM-407B-1-S-CE-S293은 세 가지 핵심 구성 요소로 구성되어 있습니다. 제어 시스템, 제어 연결 및 플렉스 어셈블리 고정장치. 제어 시스템은 Windows 기반 OS로, 사용자는 다양한 툴과 엔지니어링 소프트웨어에 액세스할 수 있습니다. CAN, 이더넷, USB 등 다양한 자동화 네트워크 (모션 및 통신 제어) 를 제공합니다. 구동 링크는 주 제어 시스템에서 웨이퍼 조작기 프레임에 전원을 공급합니다. 모터, 액츄에이터, 커플 링으로 구성되며, 웨이퍼의 정확한 위치를 지정할 수 있습니다. 마지막으로, 플렉스 어셈블리 (flex assembly) 설비는 온도 변동과 높은 진동을 견딜 수있는 독특하게 설계된 전동 플렉스 어셈블리입니다. 또한 웨이퍼를 처리 할 때 최소 마찰을 보장하는 내장 공기 베어링 (Air Bearing) 이 장착되어 있습니다. PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293에는 핵심 구성 요소 외에도 여러 가지 고급 기능이 있습니다. 7 인치 또는 200mm 정도의 작은 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 한 번에 최대 6 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 프레임 레벨에서 3 차원까지 다양한 웨이퍼 구성을 지원하며, 배치, 제거, 회전, 검사 등의 자동 작업을 수행할 수 있습니다. 이 장치에는 스테이지 안전 셔터 (Stage Safety Shutter), 환경 슬리브 (Environmental Sleeve) 및 웨이퍼를 쉽게 옮기고 정렬할 수있는 진공 지팡이와 같은 몇 가지 옵션 기능이 장착되어 있습니다. 전반적으로 ABM-407B-1-S-CE-S293 웨이퍼 핸들러는 반도체 웨이퍼의 효율적이고 정밀한 자동 처리가 가능한 고급 장치입니다. Wafer Handler 는 정밀하게 설계된 구성요소, 고속 작동 (Fast Operation), 고급 (Advanced) 기능을 통해 Wafer 처리 요구 사항에 이상적인 자동화 솔루션을 제공합니다.
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