판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-407 #132339

BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-407 Wafer Handler는 기판으로 알려진 반도체 웨이퍼를 안정적이고 정확하게 전송, 정렬 및 처리하도록 설계된 고도로 자동화된 통합 로봇 장비입니다. 브룩스 ABM-407 (BROOKS ABM-407) 의 정확한 설계 및 건설은 연약하고 비싼 기판을 효율적으로 처리해야 하는 어플리케이션에 이상적인 옵션입니다. PRI AUTOMATION ABM-407은 BRIO PASS Vacuum Clamps로 알려진 처리 챔버를 사용하여 쿼츠 및 실리콘을 포함한 다양한 재료로 만들어진 기판을 연결합니다. 진공 클램프에 연결된 최종 이펙터는 사용 된 특정 클램프 구성에 따라 한 번에 4 ~ 12 개의 기판을 보유 할 수 있습니다. 포지셔닝 시스템은 2축 김발 (gimbaled) 모듈을 사용하여 기판을 정확하게 회전하고 배치할 수 있습니다. 이를 통해 높은 정확도 프로브를 위해 기질의 정확한 배치 및 위치 변경이 가능합니다. ABM-407은 기존 공장 자동화 시스템에 완벽하게 통합되도록 설계되었습니다. ATM 및 기타 기계 컨트롤러의 업계 표준 모델과 상호 작용하도록 설계되었습니다. 또한 BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-407에는 운영자에게 잠재적 충돌을 경고하는 경고 장치 (예: 안전 기능 내장) 가 있습니다. 예 를 들어, "웨이퍼 핸들러 '가 어떤 물체 나 사람 에게 너무 가까이 다가가면, 경고기 가 빛 을 비출 것 이다. BROOKS ABM-407은 사용이 매우 쉽고, 기판 로딩 및 언로드를 위해 운영자가 쉽게 액세스할 수 있으며, 반복성과 신뢰성이 높습니다. 이 도구는 포지셔닝 및 기판 인식, 디바운스 (debounce) 및 z-tilt 기능을위한 통합 비전 (vision) 에셋을 제공하여 더 나은 Probe 정확도 및 높은 정확도 이동을 지원합니다. 또한 PRI AUTOMATION ABM-407 (PRI AUTOMATION ABM-407) 에는 정밀 온도 제어 및 수분 측정 소프트웨어가 포함되어 있어 실험 실행 중에 환경과 기판을 정확하게 모니터링 할 수 있습니다. 전반적으로 ABM-407 웨이퍼 핸들러 (ABM-407 Wafer Handler) 는 높은 정확도와 안정성으로 기판을 정렬, 처리 및 전송할 수있는 안정적이고 자동화된 웨이퍼 처리 모델입니다. 기판을 안전하고 효율적으로 처리할 수 있도록 다양한 기능과 기능 (function and function) 으로 설계되어 있습니다.