판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293 #9262263

BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293은 반도체 제조 및 생산 시스템에서 자동화된 재료 처리를 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 주요 목적은 후속 처리 단계를 위해 신뢰할 수있는 방식으로 웨이퍼 (wafer) 를 이동 및 로드하는 것입니다. 핸들러에는 직관적인 연산자 인터페이스 (operator interface) 가 장착되어 있어 운영 및 프로그래밍이 간단하고 효율적입니다. BROOKS ABM-405-1-S-CE-S293 웨이퍼 핸들러는 중량 스테인리스 스틸 섀시로 구성되며, 수평 및 수직으로 저장되도록 설계되었습니다. 최대 200mm 직경의 웨이퍼 (wafer) 를 처리 할 수 있으며, 두께 범위는 최대 12.7mm입니다. 이 장치에는 2 개의 독립적 인 처리 영역이 있으며, 핸들러의 반대편에 있으며, 동시에 최대 3 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 핸들러의 제어는 임베디드 PLC (programmable logic controller) 를 통해 이루어지며, 이를 통해 사용자 정의 모션 프로파일과 사용자 정의 작업 매개변수를 사용할 수 있습니다. PRI AUTOMATION ABM 405-1-S-CE-S293에는 정밀 진공 리프트 컵과 정확하게 교정 된 운송 암을 사용하여 웨이퍼를 소스에서 목적지로 정확하게 이동하는 픽 앤 플레이스 (pick-and-place) 장비가 장착되어 있습니다. 또한, 핸들러는 웨이퍼 방향 (wafer orientation) 과 두께 (thickness) 를 인식할 수 있으며, 최적의 로드 및 언로드를 보장하기 위해 다른 유형의 웨이퍼를 정확하게 구별 할 수 있습니다. 픽앤 플레이스 (pick-and-place) 시스템은 시간당 최대 1,400 사이클의 속도로 웨이퍼를 이동할 수 있으며, 웨이퍼 엣지의 위치 정확도는 +/- 5 미크론 내에 있습니다. 마지막으로, 핸들러에는 자체 진단 장치 (self-diagnostics unit in) 가 내장되어 있어 잠재적인 문제를 신속하게 파악하고 수정할 수 있습니다. 전반적으로 BROOKS ABM 405-1-S-CE-S293은 고급 자동 재료 처리 머신으로, 생산 환경에서 웨이퍼 이동을 용이하게합니다. 신뢰할 수 있는 픽앤 플레이스 (pick-and-place) 도구, 자체 진단 기능 내장, 직관적인 사용자 인터페이스를 갖춘 이 웨이퍼 핸들러는 모든 반도체 제조 시설에 귀중한 자산입니다.