판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293 #188172

BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293은 반도체 제작 프로세스 자동화를 위한 고급 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 클린 룸 (Cleanroom) 어플리케이션을 위해 설계되었으며, 통합 컨트롤과 내장 안전 시스템을 통해 높은 수준의 운영 유연성을 제공합니다. BROOKS ABM-405-1-S-CE-S293에는 기계 통합 및 제어를 위해 필요한 모든 디지털 입력, 제어 및 출력이 장착되어 있습니다. 스테인레스 (Stainless) 프레임과 내구성과 안정성이 뛰어난 모터 구동 (Motor-Driven) 기계식 부품으로 제작되어 안정성과 성능을 극대화합니다. PRI AUTOMATION ABM 405-1-S-CE-S293은 300mm 및 200mm 웨이퍼 처리 작업에 적합합니다. 다이 (die) 형태 또는 웨이퍼 (wafer) 형태로 다양한 웨이퍼 유형과 크기를 수용하여 정확한 자동화 및 신뢰성을 보장하도록 설계되었습니다. 카세트의 위와 아래에있는 고정밀 높이 조정 (최대 300mm 크기) 을 갖춘 넓은 작업 영역이 있습니다. 장치의 기계적 부품 (mechanical parts) 은 다양한 기능으로 설계되어 유연하게 작동할 수 있습니다. 여기에는 풀리 셋업 (pulley setup), 웨이퍼 오프닝 (wafer opening), 로드 (loading) 및 방향 제어 (orientation control) 뿐만 아니라 어셈블리의 처리 부분에 재고 준비 및 웨이퍼 위치를 지정하는 수동 조정이 포함됩니다. BROOKS ABM 405-1-S-CE-S293은 2 개 또는 4 개의 카세트를 실행할 수 있습니다. 또한 별도의 카세트 방향을 가지고 있으며 여러 웨이퍼 유형을 실행하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. 웨이퍼 방향은 웨이퍼 크기, 모양 또는 폼 팩터를 수용하도록 조정할 수 있습니다. 이 장치에는 또한 정확한 웨이퍼 정렬을위한 수동 속도 다이얼 (manual speed dial) 과 조절 가능한 웨이퍼 로딩 정확도를위한 수동 충격 흡수 장치 (manual shock absorber) 가 있습니다. 고정밀도 센서는 와퍼의 움직임을 제어하는 통합 진공 시스템 (Integrated Vacuum System) 을 통해 빠르고 정확한 웨이퍼 캡처 및 전송을 허용합니다. 이 장치에는 장치 작업 시 운영자 안전을 보호하기 위한 수동 (manual) 및 자동 안전 영역 (automatic safety zone) 도 포함되어 있습니다. PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293은 설치와 작동이 용이하며, 모듈식 디자인은 간단한 플러그 앤 플레이 인터페이스를 제공합니다. 통합 제어 (Integrated Control) 와 모듈식 (Modular) 기능을 함께 사용하면 오류 없는 시운전 절차와 기존 장비에 원활하게 통합할 수 있습니다. 이 시스템은 여러 산업 표준 운영 체제와 완벽하게 호환되며 SEMI S2 및 ISO 13849.1 등 가장 엄격한 글로벌 안전 규정을 충족하는 고급 안전 (Advanced Safety) 기능을 갖추고 있습니다.