판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ #152175

BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼 프로버, 플라즈마 에치 도구 및 웨이퍼 처리와 관련된 기타 장비에 사용하도록 설계되었습니다. 16.536 인치 x 16.536 인치 작업 봉투를 자랑하며, 고정밀 기판 관리 및 대용량 생산 응용 모두에 적합합니다. BROOKS ABM 405-1-NOZ는 고급 엔드 이펙터 및 진공 흡입 컵 장비를 포함하는 독특한 듀얼 암, 듀얼 그리퍼 디자인을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 안전하고 정확한 웨이퍼 처리 (wafer handling) 에 적합하며, 웨이퍼 표면의 최소 진동 또는 조작으로 최대 그립을 보장합니다. 웨이퍼 처리 메커니즘은 직경 3 "~ 12", 두께 1.75 "의 웨이퍼를 수용하도록 설계되었습니다. PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ는 또한 향상된 웨이퍼 정렬, 포지셔닝 및 중심 정확도를 위해 통합 멀티 센서 비전 장치를 갖추고 있습니다. 이 기계는 웨이퍼의 가장자리를 식별하고 효율적인 웨이퍼 처리 (wafer handling) 및 프로버 (prober) 작업에 필요한 위치 정보를 제공할 수 있습니다. Vision (비전) 툴을 통해 운영자는 완전하게 자동화된 웨이퍼 처리를 수행할 수 있으며, 처리 시간을 늘리고 수동 개입을 최소화할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 온보드 PLC 컨트롤러를 통해 유연한 제어 기능도 제공합니다. 이 컨트롤러는 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 처리 프로세스를 제공하며, 시스템 성능 데이터의 실시간 피드백을 제공합니다. 데이터를 웨이퍼 중심 정밀도 및 기타 키 값으로 수집할 수 있습니다. ABM 405-1-NOZ에는 혁신적인 마이크로 칩 트랜스퍼 암 (micro chip transfer arm) 솔루션이 장착되어 있으며 마이크로 사이즈 칩 또는 다이 처리에 적합합니다. 이 이송 암 (transfer arm) 은 독립적으로 제어되는 흡입 컵과 손가락으로, 수신 프로버에 적절하게 정렬되고, 웨이퍼를 제시하여, 프로세스 동안 신뢰할 수있는 반복 성과 정확성을 제공 할 수 있습니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ는 연동 엔클로저 및 프로세스 영역 격리, 풀 타임 접지 경로 모니터링, 운영자 보호를 위한 OverPressure/Impulse 모니터링 등 안전성이 최신 기능을 제공합니다. 이 Wafer Handler 의 안전 규정 준수는 고객의 요구 사항과 업계 표준을 능가하도록 설계되었습니다. 전반적으로 BROOKS ABM 405-1-NOZ 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼 테스트 및 처리 장비에 뛰어난 추가 기능입니다. 로봇 자동화 기능은 효율적이고, 반복 가능하며, 정확한 성능을 제공합니다. 모두 운영자에게 최대한의 안전성을 제공합니다. 신뢰할 수 있고, 안전하며, 정확한 웨이퍼 처리가 가장 중요한 애플리케이션에 적합합니다.