판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ #152174

BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ는 다양한 wafer 처리 응용 프로그램에서 사용하기 적합한 유연한 고속 웨이퍼 핸들러입니다. 단일 작동으로 100mm, 150mm 및 200mm 웨이퍼와 최대 26 개의 플랫 칩 (트레이) 을 처리 할 수 있습니다. 반도체 장비, 결합 및 에칭 공정 (bonding and etching process) 및 웨이퍼를 사용하는 항공, 의료 및 전자 제품의 생산과 관련된 기타 응용 분야에 적합합니다. BROOKS ABM 405-1-NOZ 웨이퍼 핸들러에는 내부 웨이퍼 전송 로봇과 전동 XY 틸트 스테이지가 사전 설치되어 있습니다. 로봇과 XY 틸트 (XY-tilt) 스테이지가 함께 작동하여 웨이퍼의 정확하고 정확한 전송 및 배치를 보장합니다. 이 "로봇 '은 여러 가지 모션 경로 로 작동 하여" 웨이퍼' 크기 와 무게 에 접근 하여, 표준 "웨이퍼 핸들러 '의 전송 속도 를 훨씬 초과 할 수 있다. "로봇 '이외에도 모든 전송 (transfer) 을 모니터링하고 제어할 수 있는 내장형 미니 추적 시스템도 함께 제공됩니다. 이렇게 하면 이동 중에 웨이퍼가 정확하게 배치됩니다. 이 기계는 또한 웨이퍼 처리를 위해 다양한 진공 및 공압 옵션을 갖추고 있습니다. 이를 통해 하드 (hard) 및 초슬림 (ultra-thin) 에서 깨지기 쉬운 (fragile) 및 다중 레이어 (multi-layer) 구조에 이르기까지 다양한 웨이퍼 유형을 처리 할 수 있습니다. 이러한 유연성을 통해 기계는 정확한 제어 및 포지셔닝이 필요한 다양한 웨이퍼 처리 (wafer processing) 어플리케이션에서 사용할 수 있습니다. PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ 웨이퍼 핸들러는 비용 효율적인 솔루션으로, 모든 프로세스 라인에 설치 및 통합이 간편합니다. 소형 공간 절약으로, 장비, 실험실, 공장 설치에 이상적입니다. 광범위한 웨이퍼 (wafer) 처리 어플리케이션에서 사용할 수 있도록 다양한 웨이퍼 크기 (최대 무게 2kg, 직경 16.5cm) 를 처리 할 수 있습니다. 다양한 처리 옵션 외에도 ABM 405-1-NOZ 웨이퍼 처리기는 안정성이 높고 내구성이 뛰어납니다. 스테인레스 (Stainless) 스틸 프레임과 스틸 베이스로 제작되었으며, 가혹한 산업 환경에서 광범위하게 집중적으로 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 유지 보수가 낮고, 사용하기 쉽고 편리하도록 설계되었습니다. 이러한 기능을 통해 모든 wafer-processing 요구 사항을 충족하는 안정적이고 경제적인 솔루션이 될 수 있습니다.