판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ #152173

ID: 152173
빈티지: 2000
Robot 2000 vintage.
BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ는 웨이퍼 또는 기타 얇은 기판을 정확하게 조작하는 데 필요한 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 최소한의 비용으로 매우 정밀한 자동 동작 제어가 필요한 프로세스에 이상적입니다. BROOKS ABM 405-1-NOZ는 Class 1 클린 룸 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며 배치 및 통합 프로덕션 프로세스 응용 프로그램 모두에서 사용할 수 있습니다. PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ는 기본 프레임, 로봇 액추에이터 및 다양한 옵션으로 구성됩니다. 기본 "프레임 '은 구조" 알루미늄' 과 강철 성분 으로 구성 되어 있는데, 그것 은 원하는 완성 에 칠 할 수 있으며, "웨이퍼 핸들러 '가 원하는 사양 을 충족 시킨다. ABM 405-1-NOZ의 기본 프레임은 tilt-in 기능을 조정하여 전면 및 후면 액세스를 모두 위해 구성됩니다. 또한, 기본 프레임은 모든 종류의 환경 진동을 흡수하도록 설계되었습니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ 로봇 액츄에이터는 정확하고 반복 가능한 위치를 보장하기 위해 기계식 브레이크 리프트 기능을 갖춘 고속 고속 망원경 모터로 구성됩니다. 이 로봇 작동기는 전체 3D 사용량 및 최대 50000 rpm의 다중 속도 범위와 함께 다중 축 단일 평면 동작 제어 (multi-axis single plane motion control) 를 제공합니다. 또한, 로봇 액츄에이터에는 자동 웨이퍼 처리가 가능한 일대일 선택 피드백이있는 도구 팁 인식 시스템이 있습니다. 기본 프레임 및 로봇 액츄에이터 외에도, BROOKS ABM 405-1-NOZ에는 다양한 선택 옵션이 있습니다. 이러한 옵션에는 공압 핀셋, 진공 끝 이펙터, 그립 검사 센서, 웨이퍼 덤프 스테이션 (wafer dump station) 또는 웨이퍼 전송 장치 (wafer transport unit) 와 같은 광범위한 조작이 가능한 도구가 포함됩니다. 또한 PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ에는 Windows ® 기반 그래픽 사용자 인터페이스와 여러 레시피 관리 시스템이 있는 직관적인 사용자 인터페이스도 포함되어 있습니다. ABM 405-1-NOZ 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 다양한 업종의 정밀 웨이퍼 처리 작업에 이상적인 솔루션입니다. 경제적인 패키지에서 뛰어난 모션 제어 (motion control) 기능을 제공하여 높은 수준의 정확성과 반복성을 보장합니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ의 다양한 옵션과 기능을 사용하면 보다 빠르고 안정적인 생산 및 조립 작업을 수행할 수 있습니다.
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