판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM 405-1-CE-S293 #189532

BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-CE-S293은 마이크로 전자 장치 처리에 사용되는 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 부서지기 쉬운 반도체 웨이퍼 및 기타 연약한 기판의 처리를 위해 자동 생산 라인에 사용하도록 설계되었습니다. BROOKS ABM 405-1-CE-S293은 2 개의 주요 구성 요소 인 웨이퍼 전송 스테이션과 제어 장비로 구성됩니다. 웨이퍼 환승 스테이션에는 웨이퍼 중심 및 환승을 위해 설계된 진공 작동 웨이퍼 리프트 핀 (wafer lift pin) 도구가 포함되어 있습니다. 이 도구는 회전 동작 (rotary motion) 과 저진공 압력 (low vacuum pressure) 을 사용하여 공기 흐름 전류를 생성하여 손상없이 이동하기 위해 웨이퍼에 진공 압력을 균등하게 분배하고, 수율 및 처리량을 향상시킵니다. 제어 시스템 (Control System) 은 Windows 기반 유닛으로, 운영자가 처리할 웨이퍼 (Wafer) 및 기판 유형 및 기타 특정 요구 사항을 입력할 수 있도록 프로그래밍됩니다. 제어 시스템에는 그래프 처리, SPC (Statistical Process Control), 알람 메시지 관리 등 사용자 친화적 인 기능도 다수 포함되어 있습니다. 또한 이 도구는 정확한 웨이퍼 전송을 위해 센서의 피드백 (feedback) 을 사용하여 프로세스 매개변수를 자동으로 조정할 수 있습니다. 이 자동 웨이퍼 핸들러 (automated wafer handler) 는 낮은 TCO (총소유비용) 를 제공하며 다양한 중소형 마이크로일렉트로닉스 제조 환경에서 사용하기에 적합합니다. PRI AUTOMATION ABM-405-1-CE-S293 (PRI AUTOMATION ABM-405-1-CE-S293) 은 유지보수 및 작동이 용이한 신뢰할 수 있는 웨이퍼 처리 자산으로, 고품질, 비용 효율적인 마이크로일렉트로닉 장치를 생산하려는 기업의 높은 수준의 반복성과 처리량을 보장합니다.