판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM 405-1-CE-S293 #152178

BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-CE-S293은 효율적이고 안정적이며 자동화된 수평 웨이퍼 전송을 제공하는 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 제공하며 다양한 업계에서 웨이퍼의 로드 및 언로드를 관리합니다. 견고하고 유지 관리하기 쉬운 기계식 섀시, 정밀 Z축 리프팅, 현장 보정, 모든 축의 서보 드라이브, 컨베이어 장비, 조정 가능한 진공 픽 던지기로 설계되었습니다. BROOKS ABM 405-1-CE-S293 웨이퍼 핸들러에는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 있는 멀티 사이트 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이 자체 포함 장치는 웨이퍼 임플란트, 픽 앤 플레이스, 웨이퍼 랩핑 등 다양한 응용 프로그램에 대해 프로그래밍 될 수 있습니다. 로드 포팅 (load porting), 라인 정렬 (line alignment), 챔버 로딩 (chamber loading) 과 같은 반도체 환경의 작업에 적합합니다. 직관적인 제어 외에도 PRI AUTOMATION ABM-405-1-CE-S293은 데이터 캡처 및 분석을위한 120 x 30 픽셀 고해상도 카메라가 장착 된 통합 비전 시스템을 갖추고 있습니다. 오프라인 (off-line) 및 온라인 (on-line) 보정 방법을 사용하는 이 웨이퍼 핸들러는 정확하고 안정적인 작업을 보장합니다. 또한 다양한 안전 시스템 (Safety System) 과 오류 메시지로 인해 오작동을 방지할 수 있습니다. BROOKS ABM-405-1-CE-S293의 프로그래밍 가능한 설정에는 웨이퍼 직경, 웨이퍼 두께, 웨이퍼 기울기, 웨이퍼 회전 속도, 사전 및 사후 처리 단계 속도, 컨베이어 속도 등이 포함됩니다. 또한 분할되지 않은 칩과 직사각형 칩을 포함하여 여러 웨이퍼 유형을 처리할 수있는 유연성이 있습니다. Pick-and-throw third-arm은 X 및 Y 축에서 +/- 6mm 이동 내에서 조정할 수 있습니다. ABM-405-1-CE-S293은 강력하고 안정적이며 프로그램하기 쉬운 웨이퍼 처리 장치입니다. 고급 기능과 기술로 부드럽고 효율적인 웨이퍼 (wafer) 수송이 가능합니다. 또한 간편한 교체용 툴링을 통해 효율적이고 경제적인 유지 보수 계획을 수립할 수 있습니다 (영문). 견고하고 안정적인 이 머신은 웨이퍼의 제어, 처리, 로드, 언로드를 위한 완벽한 선택입니다.