판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM 400 #9254407

BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 400은 대용량 반도체 생산의 요구를 충족하도록 설계된 고속 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 제품은 Wafer 처리 시스템에 실시간 피드백을 제공하는 통합 소프트웨어 (Integrated Software) 솔루션을 통해 높은 효율성과 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. BROOKS ABM 400은 단일 웨이퍼 (Single Wafer) 에서 다중 웨이퍼 (Multi-Wafer) 배치에 이르기까지 다양한 운영 요구 사항을 충족하도록 구성될 수 있으며, 다양한 표준 및 맞춤형 시스템을 사용할 수 있습니다. PRI AUTOMATION ABM 400은 고효율 서보 모터와 매끄럽고 조용한 작동을 위해 정밀 선형 작동 구성 요소 세트로 구동됩니다. 또한 웨이퍼를 정렬하고 움직임을 안내하는 고급 비전 기반 엔드 이펙터 유닛이 있습니다. 또한, ABM 400은 고립 된 진공 밀봉기 (vacuum-sealing machine) 와 활성 열 제어 도구를 사용하여 평생 동안 일관된 웨이퍼 온도를 유지합니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 400에는 웨이퍼, 프로세스 및 인력의 보호를 보장하는 몇 가지 안전 기능도 있습니다. 여기에는 온보드 안전 인터록 (Onboard Safety Interlock), 비상 정지 스위치 (Emergency Stop Switch) 및 장애물이 감지되면 모델을 자동으로 종료하는 방해 감지 에셋이 포함됩니다. BROOKS ABM 400은 웨이퍼 처리 프로세스를 완전히 제어하는 통합 소프트웨어 장비를 갖추고 있습니다. 또한 웨이퍼 정렬 및 방향을 여러 함수 (예: 힘 한계, 속도 설정, 웨이퍼 온도 조절 및 모니터링) 와 함께 제어할 수 있습니다. 또한 프로세스 감사를 위한 추적 가능성 보고서 (Traceability Report) 와 운영자 로그 파일 (Operator Log File) 도 생성할 수 있습니다. PRI AUTOMATION ABM 400 (PRI AUTOMATION ABM 400) 은 생산성 향상과 비용 절감을 위해 설계된 안정성이 뛰어나고 다양한 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 광범위한 운영 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며, 통합 소프트웨어 시스템은 정확성과 안전성을 보장합니다 (영문). 이 최첨단 웨이퍼 (Wafer) 처리 장치는 성능과 수익성을 극대화하기 위해 반도체 업계에서 탁월한 선택입니다.