판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 9700-9129-01 #9192815
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BROOKS/PRI AUTOMATION 9700-9129-01은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 웨이퍼 핸들러 로봇입니다. 이 시스템은 두 개의 로봇, 주 중앙 처리 장치 (main central processing unit) 및 관련 컴포넌트로 구성된 자동 웨이퍼 전송 시스템입니다. BROOKS 9700-9129-01은 로봇의 뇌 인 주요 중앙 장치로 구성됩니다. 연결된 모터, 센서 및 기타 컴포넌트에 연결됩니다. 이 장치에는 로봇의 레이아웃, 작업, 기능에 대한 정보가 들어 있으며, 다른 컴포넌트를 인터페이스합니다. 두 로봇은 독립적 인 모션 컨트롤을 가지며 이중 컨베이어 시스템 (conveyor system) 에 의해 함께 연결됩니다. 첫 번째 "로봇 '은" 와퍼' "카세트 '를 조작 하고 두 번째" 로봇' 은 "와퍼 '를" 카세트' 에서 "카세트 '로 이동 시킨다. 두 "로봇 '은 특수 알고리즘 으로" 와퍼 카세트' 를 정확 하고 신속 히 이동 시킬 수 있게 되어 있다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 웨이퍼와 로봇 사이의 접촉을 최대한 줄이기 위해 설계되었습니다. 이것 은 "와퍼 '가 있을 때" 로봇' 의 운동 을 조정 하는 "프로그래밍 '에 안전 기능 을 포함 시킴 으로써 그렇게 한다. "로봇 '은" 웨이퍼' 를 움직 이는 데 는 일정량 의 힘 만을 사용 하여 반복성 과 일관성 있는 속도 를 보장 한다. 또한 오작동이 발생할 경우 안전 차단 스위치가 있습니다. 또한, 웨이퍼 핸들러에는 제어 시스템에 대한 피드백 (feedback) 을 제공하는 장력 감지 장치 (tension sensing device) 가 장착되어 정확하고 일관된 정렬을 보장합니다. 더우기, 그것 은 "스테인레스 '강 안전 덮개 로 설계 되어" 로봇' 과 "웨이퍼 '로부터 먼지 입자 를 멀리 한다. 마지막으로 웨이퍼 핸들러는 유지 보수가 쉽도록 설계되었습니다. 액세스 가능한 부품이 있으며 사용하기 쉽습니다. 이 장치는 또한 다양한 유형의 와퍼 카세트 (wafer cassette) 와 호환되도록 설계되었습니다. 또한, 필요에 따라 모든 구성 요소를 쉽게 변경할 수 있습니다. 전반적으로 PRI AUTOMATION 9700-9129-01은 다양한 기능과 기능을 갖춘 강력한 웨이퍼 핸들러 로봇입니다. 안전하고, 유지 관리가 용이하며, 정확하고 신속하게 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 이 제품은 다양한 업종에서 사용하기에 이상적이며, 사용 편이성과 안정성 (안정성) 을 제공합니다.
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