판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 9700-8106-01 #9175431

BROOKS/PRI AUTOMATION 9700-8106-01은 자동 반도체 제작 프로세스에 사용되는 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 200mm 및 300mm 웨이퍼 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 8 축 로봇 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 정밀 모션 제어 (precision motion control) 및 로봇 기술 (robotics technologies) 을 통합하여 카세트, 프런트엔드 웨이퍼 프로세스 도구, 크리티컬 치수 측정 도구 등 다양한 소스에서 웨이퍼를 로드 및 언로드할 수 있습니다. 이 장치는 최첨단 모션 제어 기능을 통합 한 강력한 컴퓨터 제어 시스템 (computer-controlled machine) 으로 구동됩니다. 정확한 위치 지정 및 제어를 위한 스테퍼 모터 (stepper motor) 와 부드럽고 반응성 있는 가속 및 감속을 위한 완전 디지털 서보 드라이브 툴 (fully digital servo drive tool) 을 사용합니다. 오류 감지 (Error Detection) 및 수정 알고리즘을 사용하여 웨이퍼 및 도구의 정확하고 안전한 로드 및 언로드를 확인합니다. "에셋 '은 강력 한" 마이크로프로세서' 를 이용 하여 자동적 으로 "카세트 '를 검사 하고" 웨이퍼' 와 그 방향 을 식별 한다. BROOKS 9700-8106-01은 안정성과 성능을 위해 설계되었습니다. 모션 컨트롤러, 로봇 암, 센서는 반도체 제작 설비와 관련된 가장 엄격한 환경 조건에서 작동하도록 설계되었습니다. 이 모델에는 웨이퍼, 도구, 인력의 손상을 방지하는 다양한 안전 (safety) 기능이 장착되어 있습니다. 예 를 들어, "로봇 '암 의 길 에서 장애물 이 검출 되면, 그 과정 을 자동적 으로 중지 시키는" 센서' 장비 가 들어 있다. 또한 충돌 탐지 시스템 (Collision Detection System) 이 포함되어 있으며, 앞으로 나아가기 전에 안전한 클리어를 기다리고 있습니다. PRI AUTOMATION 9700-8106-01도 사용 및 유지 보수가 쉽습니다. 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 운영자는 신속하게 작업을 설정하고, 확인하고, 시스템에 전송할 수 있습니다. 컴퓨터의 소프트웨어는 진화하는 요구를 충족시키기 위해 신속하게 업데이트 될 수도 있습니다. 또한, 유지 보수 요건이 최소화되어 장기간 안정적으로 실행됩니다. 9700-8106-01은 웨이퍼 및 도구의 자동 로드 및 언로드를위한 효과적인 도구입니다. 견고한 설계, 정확한 모션 제어, 안전 (safety) 기능을 통해 복잡한 반도체 제작 프로세스에 사용할 수 있습니다. 최첨단 자동화 기능과 사용이 간편한 소프트웨어 (Use-to-Use Software) 를 갖춘 이 기계는 완전 자동화된 웨이퍼 처리 (Wafer Handling) 툴이 필요한 반도체 생산 설비를 위한 경제적이고 안정적인 선택입니다.