판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 9700-7232-01 #9175424

BROOKS/PRI AUTOMATION 9700-7232-01은 반도체 제작 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장비 는 "카세트 '에서 6 내지 8" 인치' 의 "웨이퍼 '를 취급 하여 진공" 척' 으로 이동 하여 방향 을 정하고 가공 실 로 운반 할 수 있다. 자동화 시스템은 일련의 벨트 (belt), 드라이브 샤프트 (drive shaft) 및 선형 동작 액츄에이터 (linear motion actuator) 로 구성되어 있으며, 이동 범위에서 부드럽고 정밀한 동작을 제공합니다. 장치의 중심에는 전사 팔이 있습니다. 즉, 두 개의 독립적으로 구동되는 암으로 구성된 다중 축 (multi-axis) 장치로, 작업 범위 내에서 웨이퍼를 정확하고 정확하게 제어할 수 있습니다. 이송 암 (transfer arm) 의 베이스는 수직 지지대 (vertical support post) 에 장착되어 세 축을 모두 자유롭게 이동 할 수 있습니다. 팔의베이스에는 진공 포트가 장착되어 있습니다. 이 진공 상태 는 "웨이퍼 '를 조작 범위 내 에서 안전 하게 움직 이는 데 도움 이 되며, 최소 의 이동 을 허용 한다. 암의 밑면에는 웨이퍼의 방향을 감지하는 데 사용되는 방향 센서 (또는 '눈') 가 장착되어 있습니다 (또는 '눈'). 시계 방향, 시계 반대 방향, 위쪽 방향, 아래쪽 방향을 모두 감지할 수 있습니다. 기계의 또 다른 필수 부분은 진공 척입니다. 이송 암 (transfer arm) 끝에 장착 된 평평한 원형 플랫폼입니다. 공정 챔버 (process chamber) 로 또는 공정 챔버로 이동하는 동안 웨이퍼를 제자리에 고정하도록 설계되었습니다. "척 '은 진공 이 일어날 때 퇴각 하도록 설계 된 일련 의" 핀' 을 갖추고 있다. 따라서 "웨이퍼 '는 최소 운동 을 허용 하면서 안전 하게 보관 된다. 이 도구 는 또한 "와퍼 '를" 카세트' 에서 공정 "챔버 '로 옮기는 일련 의" 벨트' 를 갖추고 있다. "벨트 '는 모두" 벨트' 의 속도 와 방향 을 부드럽고 정확 하게 제어 할 수 있는 "서보 모터 '에 의하여 구동 된다. 에셋에는 일련의 제한 스위치 (Limit Switch) 와 센서 (Sensor) 가 장착되어 있어 웨이퍼가 항상 올바른 방식으로 전송되고 프로세스가 중단되지 않도록 합니다. BROOKS 9700-7232-01은 반도체 제작 프로세스에 대해 정확하고 정확한 웨이퍼 처리 기능을 제공하는 고가용성 모델입니다. 견고한 디자인과 다양한 기능을 통해 6 ~ 8 인치의 다양한 웨이퍼 (wafer) 를 처리할 수 있습니다. 고급 모션 (motion) 과 오리엔테이션 (orientation) 기능, 신뢰할 수 있는 벨트 (belt) 와 척 (chuck) 시스템, 그리고 수많은 센서가 결합되어 다양한 응용 프로그램에서 자동화된 웨이퍼 처리에 적합합니다.