판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 70013740 #9169687

BROOKS/PRI AUTOMATION 70013740 웨이퍼 핸들러는 제조 및 테스트 과정에서 반도체 웨이퍼를 안전하게 운송하는 데 사용되는 다용도 실험실 장비입니다. 웨이퍼 핸들러는 최대 8 인치 직경의 웨이퍼 (wafer) 와 큰 12 인치 웨이퍼 (wafer) 를 포함하여 광범위한 웨이퍼 크기를 처리하는 데 적합합니다. 클래스 10에서 클래스 1000 클린 룸까지 사용할 수 있습니다. BROOKS 웨이퍼 핸들러는 정확한 위치로 조정 할 수있는 3 축 웨이퍼 전송 메커니즘을 특징으로합니다. 첨단 모션 컨트롤 (Motion Control System) 과 독보적인 비전 검증 모듈을 탑재하여 정확하고 안전한 웨이퍼 (Wafer) 전송을 보장합니다. 최대 웨이퍼 용량은 2 개이며, 여러 웨이퍼를 한 번에 처리 할 수 있습니다. 컴팩트한 수평 설계는 일관되고 안정적인 작동을 보장합니다. PRI AUTOMATION 웨이퍼 핸들러에는 3축 동작 제어 외에도 다양한 자동화 기능이 포함되어 있습니다. 최대 12 개의 다른 설정 지점 (예: 카세트 랙 안팎으로 웨이퍼 로드, 웨이퍼 회전, 프로세스 도구 위에 위치 지정) 을 저장할 수 있습니다. 또한 자동 전송 매개변수 보정 기능 (automatic transport parameter calibration feature) 이 포함되어 있어 전송 메커니즘을 조정하여 높은 수준의 정확성과 이동 반복 (repeatibility of movement) 을 허용합니다. BROOKS/PRI AUTOMATION 웨이퍼 핸들러에는 신뢰할 수있는 진공 보류 기능도 장착되어 있습니다. 이 기능 은 흡입 (suction) 을 사용 하여 더 작은 "웨이퍼 '를 굳게 잡아 처리 과정 중 에 손상 과 오염 으로부터 보호 해 준다. 핸들러 (handler) 에는 다른 기계나 공정으로 인해 환경으로부터 진동으로부터 시스템을 분리하는 방진 (anti-vbration) 커버가 장착되어 있습니다. 웨이퍼 핸들러에는 몇 가지 사용자 친화적 인 안전 기능이 내장되어 있습니다. 여기에는 공인 직원만 시스템에 액세스할 수 있도록 하는 인라인 (in-line) 보안 잠금이 포함됩니다. 또한 안전 연동 시스템 (Safety Interlock System) 이 포함되어 있어 운영자 손이 기계에 너무 가까이 있으면 핸들러가 활성화되지 않습니다. 브룩스 웨이퍼 핸들러 (BROOKS wafer handler) 는 반도체 제조, 테스트, 포장 등의 응용 분야에서 다양한 웨이퍼 크기와 재료를 처리하기 위한 이상적인 솔루션입니다. 신뢰할 수 있고 정확하며 안전한 웨이퍼 처리를 사용자에게 제공합니다.