판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 7000 Series #80123

BROOKS/PRI AUTOMATION 7000 시리즈는 산업 환경에서 안정적인 웨이퍼 생산을 제공하기 위해 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 장비는 두 가지 주요 구성 요소, 자동 웨이퍼 전송 시스템 및 웨이퍼 클램핑/언클램핑 모듈로 구성됩니다. 이러한 구성 요소 조합을 통해 운영 라인을 따라 빠르고, 정확하게 웨이퍼 (wafer) 이동과 정확한 위치를 지정할 수 있습니다. 오토메이션 7000 (Automation 7000) 의 전송 장치는 직경이 최대 8 인치인 웨이퍼를 정확하고 안정적으로 처리하도록 설계되었습니다. 이 기계에는 3 축 선형 X-Y-Z 간트리 (gantries) 와 경로를 따라 각 웨이퍼의 정확한 정렬을위한 회전 테이블이 장착되어 있습니다. 이 전송 도구 (Transport Tool) 는 최대 처리량에서 높은 정확도를 제공하여 운영 라인의 요구를 충족시킵니다. wafer clamping/unclamping 모듈을 사용하면 웨이퍼를 빠르고 정확하게 처리할 수 있습니다. 모듈은 4 개의 진공 작동 클램프를 사용하여 이동 경로를 따라 웨이퍼를 고정합니다. 각 클램프는 450 파운드 이상의 클램핑 포스 (clamping force) 를 제공 할 수 있으므로 웨이퍼가 운동 중에 안전하게 고정됩니다. 모듈의 자동 동작 제어 (automated motion control) 는 와퍼의 적절한 정렬이 유지되도록 정확성과 반복성을 제공합니다. 오토메이션 7000 (Automation 7000) 에는 운영자, 장비 및 웨이퍼의 안전을 보장하기 위해 일련의 안전 기능이 장착되어 있습니다. 수송 모델 설계에는 충돌 방지 (Collision Avoidance) 자산이 포함되어 있으며, 웨이퍼 클램핑/클램핑 해제 모듈에는 비상 정지 (Emergency Stop) 장비와 인클로저 연동이 장착되어 있습니다. 전반적으로, BROOKS 7000은 안정적인 웨이퍼 생산을 제공하기 위해 설계된 정확하고 효율적인 웨이퍼 핸들러입니다. 통합 수송 및 클램핑/클램핑 (clamping) 시스템은 빠르고 정확한 웨이퍼 이동을 위해 결합된 반면, 수송 장치 (Transport Unit) 및 클램핑 모듈 (Clamping Module) 의 안전 기능은 각 웨이퍼 처리 작업의 안전성과 정확성을 보장합니다.