판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 5864E #9007054

BROOKS/PRI AUTOMATION 5864E는 프런트엔드 반도체 제작 프로세스에 사용되는 업계 최고의 웨이퍼 핸들러입니다. 내구성이 높고 신뢰성 있는 설계로, 극도의 신뢰성과 반복성 (repeatability) 이 가장 중요한 운영에 특히 적합합니다. 브룩스 (BROOKS) 5864E 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 최첨단 설계를 통해 프로세스 모듈에서 더 빠르고 정확한 웨이퍼 위치를 지정하여 향상된 수율 및 시스템 안정성을 제공합니다. 컴팩트한 모듈식 (compact modular) 설계를 통해 다양한 공간에 적합하며, 최소한의 유지 보수가 필요하므로 부드럽고 효율적인 작동이 가능합니다. 웨이퍼 핸들러에는 최대 6,800 웨이퍼/시간에 정확한 웨이퍼 처리가 가능한 비 접촉 웨이퍼 가이드 시스템이 장착되어 있습니다. 또한 웨이퍼를 인덱싱할 수있는 통합 로봇 암 (robot arm) 과 핫 루프 로드/언로드 스테이션 (hot loop load/unload station) 을 장착하여 안정적이고 반복 가능한 작업을 보장합니다. 또한, 효율적인 웨이퍼 전송 시스템을 사용하면 최소 진동 및 정확한 위치를 사용하여 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. PRI AUTOMATION 5864E 웨이퍼 핸들러는 직경 8 인치에서 12 인치의 다양한 웨이퍼 크기에 대한 효율적인 전송도 제공합니다. 온보드 인텔리전스는 향상된 수준의 프로세스 모니터링 및 감독을 보장합니다. 다양한 I/O 소스와의 완벽한 통합을 통해 탁월한 프로세스 제어 및 생산성 최적화를 실현할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 ESD Precautions Class 1 및 IEC 61241-2-2의 글로벌 표준에 대한 다양한 조직의 인증을 받았습니다. 이것은 운영 중 안전을 보장합니다. 또한 RoHS Directives 및 CE Mark Certifications를 준수하여 높은 수준의 안전, 환경 친화성 및 규정 준수를 보장합니다. 요약하자면, 5864E 는 반도체 구성 프로세스에 대한 정확한 처리, 향상된 처리량, 생산성 최적화 기능을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 신뢰할 수 있는 운영을 보장하고 업계 법률/규정을 준수하는 최첨단 설계를 갖추고 있습니다. 수많은 고급 기능과 간편한 유지 보수 (maintenance) 기능을 갖춘 이 솔루션은 모든 프런트엔드 반도체 (Front-End) 생산에 이상적인 솔루션입니다.