판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 5858-1J1A1A5 #9141153

BROOKS/PRI AUTOMATION 5858-1J1A1A5 웨이퍼 핸들러는 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 경량 다용도 기계입니다. 최대 200mm 또는 8 인치 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 처리기는 내부 웨이퍼 전송 모듈 (wafer transport module) 을 사용하여 로더에서 사용자의 웨이퍼 처리 장비로 웨이퍼를 이동합니다. 핸들러는 웨이퍼를 정확하게 처리 할 수있는 픽 앤 플레이스 (pick and place) 및 정렬 기능을 제공합니다. 자동 웨이퍼 핸들러는 두 개의 독립적 인 구성 요소 (헤드 및 트레이) 로 구성된 모듈식 설계를 특징으로합니다. 헤드는 최대 8 인치 직경의 기판을 수용하도록 설계되었습니다. 적절한 처리를 위해 웨이퍼를 정렬하는 4 개의 독립적 인 최종 이펙터가 장착되어 있습니다. 끝 이펙터 (end effector) 는 웨이퍼 (wafer) 를 정렬하여 홀더에 단단히 맞추고 운송 중 굴곡을 방지합니다. 머리는 부드럽고 정밀한 동작 제어를 제공하는 선형 서보 (linear servo) 트레이에 장착됩니다. 두 서보 (Servo) 는 위쪽 트레이와 아래쪽 트레이를 독립적으로 제어하여 헤드가 수직 (Vertical) 또는 수평 (Horizontal) 방향으로 이동하여 웨이퍼 위치를 최적으로 정렬할 수 있습니다. 트레이 또는 베이스는 핸들러의 두 번째 구성 요소입니다. 수송 중 웨이퍼를 확보하는 진공 장비가 장착되어 있습니다. "트레이 '에는 또한" 와퍼' 의 오염 을 최소화 하고 적재 전 에 중요 한 표면 준비 를 하도록 설계 된 청소 장치 가 있다. "웨이퍼 '를" 트레이' 에서 가져와서 그 사용자 의 "웨이퍼 '처리 장비 에 공급 하여 이체 를 완성 시킨다. BROOKS 5858-1J1A1A5 Wafer Handler는 반도체 처리 응용 프로그램에서 안정적인 작동을 위해 설계된 사용자 친화적 인 장치입니다. 이 기계의 모듈식 설계, 정렬 기능, 자동 로드 프로세스는 Wafer 전송을 위한 최대의 유연성을 제공합니다. 이 도구는 다양한 웨이퍼 (wafer) 처리 장비와 통합될 수 있으므로 여러 어플리케이션 시나리오에 이상적입니다.