판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 5858-1E2A1A3 #9141156

BROOKS / PRI AUTOMATION 5858-1E2A1A3
ID: 9141156
Mass flow controller.
BROOKS/PRI AUTOMATION 5858-1E2A1A3은 베어 및 패키지 다이 제품을 모두 처리하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 주기당 최대 8 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 수용하도록 구성할 수 있습니다. 핸들러에는 팬 아웃 (fan-out) 어셈블리가 장착되어 최대 16 개의 에칭 웨이퍼를 개별 구성 요소로 분리 할 수 있습니다. 웨이퍼 (wafer) 는 입력 트레이에 자동으로 로드된 다음 미세 피치 전송 벨트 (Fine Pitch Transfer Belt) 를 사용하여 팬 아웃 어셈블리로 밀어냅니다. 웨이퍼는 다단계 전동 시력 장비로 더 분리됩니다. 팬 아웃 (fan-out) 어셈블리의 출력 슬롯은 분리된 웨이퍼를 기계식 픽앤 플레이스 (pick-and-place) 헤드로 이동하여 인덱서 턴테이블로 전송합니다. 정렬자는 웨이퍼를 잡고, 정렬자를 인덱스하고, 웨이퍼를 인덱스된 출력 슬롯에 배치합니다. BROOKS 5858-1E2A1A3에는 각각 최대 작동 온도가 섭씨 300도 인 2 개의 독립적으로 제어되는 웨이퍼 로드 잠금 장치가 장착되어 있습니다. 이중 웨이퍼 로드 잠금은 별도로 또는 시리즈로 작동 할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 습식 및 건식 결합 프로세스를 모두 지원하며 와이어 본딩 (Wirebonding) 및 다이 부착 (Die Attach) 을 포함한 다양한 프로세스 단계에 사용할 수 있습니다. 또한, 핸들러는 별도의 인터페이스 모듈을 사용하는 수동 작업에 사용할 수 있습니다. 제어 전자 제품 (control electronics) 과 소프트웨어 (software) 는 웨이퍼를 정확하게 등록하고 프로세스 매개변수 및 레시피의 데이터 저장을 제공하기 위해 설계되었습니다. 웨이퍼 핸들러는 안전하고 효율적인 작동을 위해 설계되었습니다. 자재 호환성 (material compatibility) 과 손쉬운 설정 (easy setup) 을 통해 반도체 업계의 다양한 어플리케이션에 적합합니다. PRI AUTOMATION 5858-1E2A1A3의 고급 모듈식 아키텍처를 사용하면 로봇과 다이 핸들러 (die-handler) 와 같은 다른 구성 요소와 통합하여 자동화된 다이 처리 시스템을 만들 수 있습니다. 통합 시각 장치 (Integrated Vision Unit) 는 처리된 제품의 방향, 크기, 모양 등의 오류를 감지하여 프로세스 정확도를 높이고 수율을 높일 수 있습니다. 또한 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 에는 유지 보수 액세스 포트 (Maintenance Access Port) 가 장착되어 있어 사용자가 신속하게 시스템을 검사하고 유지 관리할 수 있습니다. 소형 크기와 소음이 적은 5858-1E2A1A3 은 업무 중단을 최소화하면서 최고의 성능을 제공합니다.
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