판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 5858-1C1A1A3 #9141152

BROOKS / PRI AUTOMATION 5858-1C1A1A3
ID: 9141152
Mass flow controller.
BROOKS/PRI AUTOMATION 5858-1C1A1A3은 반도체 제조 공정의 효율성을 높이기 위해 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 웨이퍼 처리 (Wafer Handling) 에서부터 로드, 언로드, 정렬 및 사전 정렬 (Pre-aligning) 에 이르기까지 다양한 작업에 맞게 구성될 수 있는 매우 다양하고 강력한 엔드 이펙터를 갖추고 있습니다. 따라서 반도체 제작 및 정렬, 스크리빙 및 절단, 다이빙, 검사와 같은 응용 분야에 적합합니다. BROOKS 5858-1C1A1A3에는 프로그래밍 가능한 모션 제어 장비가 내장되어 있습니다. 이 시스템은 끝 이펙터 (end effector) 를 동작 범위 내에서 원하는 위치로 이동하도록 프로그래밍할 수 있으며, 최종 정확도를 위해 웨이퍼 변환, 방향 지정, 위치 지정, 회전 등 복잡한 작업을 수행하도록 프로그래밍할 수 있습니다. 프로그래밍 가능한 모션 제어 장치 (motion control unit) 는 반도체 제작 프로세스에 중요한 뛰어난 속도와 정확성을 보장합니다. PRI AUTOMATION 5858-1C1A1A3에는 통합 진공 그립 머신이 장착되어 있습니다. 이 진공 그립 도구는 안전하고 안정적인 웨이퍼 그립을 제공합니다. 내장형 진공 센서는 "엔드 이펙터 (end effector) '가 웨이퍼 (wafer) 를 안전하게 잡지 못할 때 감지하고, 신호를 연산자에게 보내어 오해 위험을 줄일 수 있다. 5858-1C1A1A3에는 통합 웨이퍼 표면 보호 자산도 있습니다. 이 모델은 손상이 발생하는 동안 웨이퍼를 보호하도록 설계되었습니다. 그것 은 "웨이퍼 '의 바닥 을" 버퍼' 하여 감수성 있는 표면 을 보호 하는 고무 "패드 '와" 웨이퍼' 를 움직 일 때 안내 할 수 있는 "롤러 암 '설계 가 특징 이다. BROOKS/PRI AUTOMATION 5858-1C1A1A3은 유연한 모듈식 아키텍처로 설계되었습니다. 엔드 이펙터 (End Effector) 는 사용자의 필수 엔드 이펙터 유형으로 신속하게 교환할 수 있으므로 쉽고 비용 효율적인 사용자 정의가 가능합니다. 또한 다양한 엔드 이펙터 (End Effector) 기능을 위해 구성할 수 있는 고급 입출력 (I/O) 장비를 통해 시스템 요구 사항을 손쉽게 수정할 수 있습니다. 브룩스 (BROOKS) 5858-1C1A1A3은 직관적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러로, 반도체 생산 공정의 생산성과 정확성을 높이도록 설계되었습니다. 다용도 엔드 이펙터 (end effector), 강력한 모션 제어 장치 (motion control unit), 통합 진공그리핑 머신 (integrated vacuum griping machine) 및 표면 보호 도구 (surface protection tool) 는 가장 까다로운 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 모듈식 설계 및 I/O 제어 에셋을 통해 모든 프로세스에 맞게 손쉽게 사용자 정의하고 구성할 수 있습니다.
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