판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263592

BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E는 마이크로 일렉트로닉스, 반도체 및 태양 전지 제조 공정을 위한 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 광범위한 제조 환경에서 높은 정확도, 낮은 입자 생성, 안정적인 운영을 제공하도록 설계되었습니다. BROOKS 5850E는 정교한 프로세스 제어와 간편한 유지 관리를 위해 통합된 마이크로 프로세서 제어 작업을 제공합니다. 이 시스템은 평면, 사각형, 포켓 등 다양한 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 실시간 상태 감지, process-stop-at-source 제어, 긴급 진공 차단 등의 고급 기능 및 안전 기능도 제공합니다. PRI AUTOMATION 5850E에는 자동 웨이퍼 로드 및 전달, 1-360 ° 로부터의 웨이퍼 회전, 웨이퍼 정렬, 대용량 생산 요구 사항 충족과 같은 기능이 있습니다. 또한 다양한 처리 기능을 제공하며, 일부 애플리케이션의 경우 양면 (dual-side) 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 5850E에는 올바른 작동을 보장하는 여러 구성 요소가 포함되어 있습니다. 진공실은 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 낮은 입자 생성을위한 가스 제거 기능을 포함합니다. 전기 공압 시스템은 웨이퍼 처리를 위해 진공 및 압력을 생성하는 데 사용됩니다. "로봇 '암 에는 정확 한" 웨이퍼' 전달 및 배치 를 위한 속도, "토크 '및 가속 조절 장치 가 있다. BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E는 제조 공정에서 향상된 성능을 제공하고 다운타임을 줄이기 위해 설계되었습니다. 수많은 프로세스 제어 시스템 (process control system) 과 호환되므로 현재 운영 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 쉽게 설치 및 작업을 수행할 수 있습니다. 제조 과정에서 발생하는 문제를 파악하고 해결하는 데 도움이 되는 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 기능도 있습니다. BROOKS 5850E는 고급 웨이퍼 핸들러 및 소규모 프로덕션 실행에 이상적인 솔루션입니다. 신뢰할 수 있으며 다양한 어플리케이션에서 뛰어난 성능을 제공합니다. 마이크로일렉트로닉스 (Microelectronics), 반도체 (Semiconductor) 및 태양전지 제조 공정의 성공을 보장하기 위해 최신 기술로 설계되었습니다.