판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263590

BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E는 웨이퍼 어셈블리를 적시에 안정적으로 처리하도록 설계된 다용도 웨이퍼 핸들러입니다. 이 자동화된 도구를 사용하면 로드, 전송, 언로드 등 단일 주기에서 최대 12 개의 웨이퍼를 정밀하게 처리할 수 있습니다. BROOKS 5850E는 또한 연삭 및 연마에 최대 6 개의 스핀들을 사용하여 정확한 연삭, 연마 및 분쇄 작업을 가능하게합니다. 전용 4 축 웨이퍼 조작 시스템을 통해 웨이퍼를 정확하게 배치하여 선박 간 빠르고 정확한 전송 (transfer) 을 가능하게합니다. 고급 운송 시리즈 로봇에는 정확한 웨이퍼 처리를 위해 세라믹 브러쉬 (ceramic brushe) 와 흡입 컵 (suction cup) 이 장착되어 있습니다. 공압 그리퍼는 자동 로드 및 언로드 프로세스에 효율적인 힘 제어를 제공합니다. PRI AUTOMATION 5850E는 고객이 자동화된 레시피를 구성하고, 처리량 및 프로세스 반복성을 극대화하고, 수동 작업을 시작할 수 있는 직관적인 소프트웨어 플랫폼을 갖추고 있습니다. 레시피 개정, 디버그, 시뮬레이션 등 실시간 RRM (Recipe Management) 기능 사용을 지원합니다. 이 시스템은 운영자의 안전 및 최고 성능을 보장하기 위해 강력한 안전 측정 (Safety Measure) 을 갖추고 있습니다. 강력한 안전 기능에는 챔버 인터록, 단일 사이클 리버스 인터록, 제동 기능, 각 웨이퍼 트레이에 대한 속도 제어 및 제한 스위치 (switch) 가 포함됩니다. 5850E는 인상적이고 포괄적인 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 시스템으로, 고객이 정확성과 일관성으로 웨이퍼를 자신있게 처리 할 수 있습니다. 이 자동 플랫폼은 대용량 생산 주기에 적합하며, 효율적이고 안정적인 웨이퍼 (wafer) 처리를 위한 탁월한 정확성과 반복성을 제공합니다.