판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263589

BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E는 반도체 생산 시설을위한 다재다능하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러입니다. 완전 자동화 (Fully Automated) 작업을 통해 처리 프로세스를 통해 빠르고 정확하게 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. BROOKS 5850E는 두 개의 독립적 인 256 단계 스테핑/서보 모터 축 시스템으로 구동됩니다. 각 축 장비는 1.3 미크론 (micron) 정도의 단계 해상도로 웨이퍼를 정확하게 배치 할 수 있습니다. 핸들러는 최대 3 개의 웨이퍼 트레이를 장착 할 수 있으며, 한 번에 최대 48 개의 200mm 또는 60 개의 150mm 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 또한 최대 4 개의 500mm 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. PRI AUTOMATION 5850E는 또한 각각 자체 기계, 공압 및 진공 시스템을 갖춘 2 개의 부하 잠금을 기본으로 제공합니다. 이를 통해 핸들러는 웨이퍼 트레이에 신속하고 정확하게 웨이퍼 로드/언로드, 대용량 처리로 인한 다운타임 감소, 입자 오염 감소 등을 실현할 수 있습니다. 5850E에는 프로그래밍 가능한 비상 정지 장치 (Emergency Stop Unit), 빔 탐지기 (옵션) 및 센서 배열과 같은 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 즉, 모든 운영이 원활하고 안전하게 실행되고 있다는 '추가' 수준의 보호 및 보증 기능을 제공합니다. BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E의 제어 머신은 PLC (Programmable Logic Controller) 로 구성되어 있어 사용자가 쉽게 반복 및 프로그래밍 가능한 프로세스를 만들 수 있습니다. 이를 통해 짧은 시간에 걸쳐 많은 양의 웨이퍼를 맞춤식 처리할 수 있습니다. 사용자는 또한 컴퓨터의 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 패라메트릭 데이터에 액세스할 수 있으며, 프로세스를 실행하고 새 파일을 생성하기 위해 미리 정의된 레시피에 액세스할 수도 있습니다. BROOKS 5850E는 반도체 생산 시설에 사용하기 위한 효율적이고, 정확하며, 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러입니다. 조정 가능한 트레이 도구, 로드 잠금 (load lock), 안전 기능 및 직관적인 제어 자산은 대용량 처리에 이상적인 선택입니다.