판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263576

BROOKS Model BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 반도체 제조 환경 안팎에서 웨이퍼를 안전하고 정확하게 처리 및 이동하도록 설계된 정밀 자동화 장비입니다. 핸들러 (handler) 는 한 취급 소에서 다른 취급 소로 웨이퍼를 안정적으로 운송하기 위해 만들어졌으며 클린 룸 (Clean Room) 또는 웨이퍼 제조 (Wafer Fabrication) 환경에서 사용하기에 안전합니다. Model BROOKS 5850E는 Wafer Handling 하위 시스템, Robot 하위 시스템 및 Peripheral 하위 시스템의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 웨이퍼 처리 서브시스템 (Wafer Handling Subsystem) 은 웨이퍼 로봇 (Wafer Robot) 과 관련 주변 장치 간의 인터페이스이며 제조 프로세스 전반에 걸쳐 웨이퍼 처리를 제어합니다. 스프링로드 (spring-loaded) 이스케이프 메커니즘과 클린 도구 (clean tools) 를 사용하여 와퍼를 안전하고 안전하게 처리할 수 있도록 설계되었습니다. Model PRI AUTOMATION 5850E의 로봇 서브시스템 (Robot Subsystem) 은 전송 시스템에서 웨이퍼를 이동하는 작업을 수행합니다. 12 개의 150mm (6 인치) 웨이퍼와 4 개의 200mm (8 인치) 웨이퍼를 갖춘 고속 2 축 로봇으로 구성됩니다. 로봇에는 정확하고 일관된 동작을 위해 고속 DC 서보 모터가 장착되어 있으며, 0.3 초 만에 0에서 최대 속도로 가속하면서 780mm/s의 속도에 도달 할 수 있습니다. 로봇은 + -0.04mm의 위치 정확도를 사용합니다. 모델 5850E의 주변 장치 하위 시스템에는 웨이퍼 로더 및 언로더, 서보 드라이브, 웨이퍼 프로버, 웨이퍼 전송 트레이 및 기타 다양한 비품 및 액세서리와 같은 웨이퍼 제작에 필요한 모든 구성 요소가 포함됩니다. 이 서브시스템은 연결된 모든 주변 장치 (peripheral equipment) 가 원활하게 작동하도록 설계되었으며, 어떠한 추가 부품도 오염 또는 운송 오류의 원인이 될 수 없습니다. 결론적으로 PRI AUTOMATION Model BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 반도체 제조 시설 안팎의 웨이퍼를 안전하고 정확하게 처리하고 이동하도록 설계된 고급 자동화 장치입니다. 위치 정확도 + -0.04mm (+ -0.04mm) 로 정확하고 일관된 동작을 가능하게하며, 780mm/s의 속도로 최대 16 개의 웨이퍼를 운송 할 수 있습니다. 이 기계는 연결된 모든 주변 장치 (peripheral equipment) 가 소스 무료이며 오염 또는 오류 없이 작동하도록 설계되었습니다.