판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263562
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BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E Wafer Handler는 대규모 및 중형 웨이퍼 생산 작업에서 고온 반도체 웨이퍼를 안전하게 처리 및 전송하고 웨이퍼 처리량을 최대화하도록 설계된 최첨단 장치입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 다양한 전자 기기를 제작할 때 다양한 응용 프로그램에 대해 2 ~ 6 인치 (2 ~ 6 인치) 의 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 이 기계에는 정확한 웨이퍼 방향 (Wafer Orientation) 과 위치 지정 (Positioning) 이 가능한 가장 높은 정밀도를 제공하는 통합 비전 장비가 있습니다. 브룩스 5850E (BROOKS 5850E) 에는 하이 토크 6 축 조작기 암과 동력 변환이 포함되어 있어 로봇이 생산 웨이퍼 이동 작업을 신속하게 완료 할 수 있습니다. 또한 최대 3 개의 서로 다른 웨이퍼 클램프 (clamping) 도구를 쉽게 전환할 수있는 유연성을 제공하는 도구 체인저 시스템이 있습니다. 따라서 광범위한 웨이퍼 처리 옵션이 제공됩니다. 또한, 운송 중 웨이퍼 데미지를 최소화하기위한 진동 감쇠 기술 내장 및 특허를받은 load-on-the-fly wafer 클램핑 장치를 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 다른 기계와 부품뿐만 아니라 인력을 보호하기 위해 안전 (safety) 기능을 제공합니다. 여기에는 인클로저가 손상된 경우 또는 핫 웨이퍼가 감지된 경우 에셋을 즉시 중지하는 일련의 트립 포인트 (trip point) 가 있는 내부 엔클로저 누출 탐지 도구 (Enclosure Leak Detection Tool) 가 포함됩니다. 또한 자가 모니터링 모델 (Self-Monitoring Model) 을 통해 장비 센서가 문제를 감지하면 사용자에게 알립니다. PRI AUTOMATION 5850E 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 속도, 유연성, 정확성 및 안전성의 인상적인 조합을 제공하는 고급적이고 안정적인 시스템입니다. 커머셜 (Commercial) 또는 리서치 (Research) 반도체 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 다용도 도구이며, 수년 동안 안정적이고 문제 없는 (Trouble-free) 작업을 사용자에게 제공할 수 있습니다.
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