판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9245268

BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E는 스캐닝 전자 현미경을위한 웨이퍼를 빠르고 정확하게 로드하고 언로드하도록 설계된 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 각기 다른 기판 크기, 로드/언로드 작업을 빠르게 구성할 수 있도록, 특히 적응력이 뛰어나도록 설계되었습니다. 이 핸들러는 PRI의 특허를받은 셔틀 로봇 (Shuttle Robot) 기술을 사용하며, 이는 모듈 식 로봇 엔드 이펙터를 사용하여 기판과 상호 작용하고 운송합니다. 이 장비 는 여러 가지 동작 지점 으로 "기판 '을 급속 히 이동 시켜 처리량 을 증가 시키고 주기 시간 을 단축 시킬 수 있다. 또한 석영, 세라믹, 알루미나, 실리콘, 금속 등 다양한 기판 유형의 장착 및 처리를 지원합니다. BROOKS 5850E는 신뢰성이 높으며 탁월한 성능을 제공합니다. 기판 크기와 방향에 따라 시간당 최대 200 웨이퍼 (wafer per hour hour) 의 처리량을 제공합니다. 또한, 이 핸들러는 최첨단 비전 시스템 (State-of-Art Vision System) 과 최적의 기판 로드 및 언로드 프로세스를 위한 맞춤형 알고리즘을 갖추고 있습니다. 핸들러의 설계는 또한 유지 보수 및 서비스를 쉽게 할 수 있습니다. 유연한 조작 시스템 (Flexible Manipulation System) 이 특징으로, 시스템을 물리적으로 분해하지 않고도 업그레이드하고 구성할 수 있습니다. 또한, 자동화된 장치에는 오류 진단 (error diagnostics) 이 장착되어 운영 담당자가 신속하게 문제를 진단하고 최적의 기기 성능을 유지할 수 있습니다. 전반적으로 PRI AUTOMATION 5850E는 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 이상적입니다. 안정성이 높고, 빠르고, 정확하며, 웨이퍼를 빠르고 정확하게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 최적 자동 기판 적재/언로드 프로세스를 위해 고급 비전 시스템 및 로봇을 사용합니다. 마지막으로, 핸들러는 유지보수 및 업그레이드가 용이하도록 설계되었으며, 시스템 성능을 향상시킵니다.