판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #293763233

BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E
ID: 293763233
Mass flow controller Gas: H2 Flow rate: 100.
BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E Wafer Handler는 다양한 생산 단계에서 중소형 웨이퍼를 처리하도록 설계된 대용량 반자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 반자동 시스템은 전송, 정렬, 웨이퍼 방향과 같은 여러 작업을 수행할 수 있습니다. BROOKS 5850E의 중량, 금속 구조는 정밀 작동과 반복 가능한 정확성을 위해 설계되었습니다. PRI AUTOMATION 5850E는 직경이 최대 5.50 "(140mm) 인 실리콘 웨이퍼를 처리하는 데 적합합니다. 또한 유리, 석영 또는 페라이트와 같은 다른 기판을 처리 할 수 있습니다. 조정 가능한 웨이퍼 척 (wafer chuck) 과 발 페달을 장착하여 편리하게 작동합니다. 이 장치에는 정확하고 정확한 웨이퍼 처리를 위해 다중 축 동작, 서보 모터, 프로그래밍 가능한 모션 컨트롤러 (motion controller) 를 포함한 최신 모션 컨트롤도 포함되어 있습니다. 5850E는 통합 PC 기반 자동화 컨트롤러와 손쉬운 작동을 위한 HMI (Human-Machine Interface) 로 구성됩니다. HMI는 웨이퍼 추적 및 추적 가능성, 경보 관리, 스케줄링, 데이터 수집, 통계 보고 등 다양한 자동 기능을 제공합니다. 또한 BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E는 전체 시스템 네트워킹 기능을 제공하여 기존 팩토리 네트워크에 쉽게 통합할 수 있습니다. 브룩스 5850E (BROOKS 5850E) 는 청소실 사용을 위해 설계되었으며, 공구를 시원하고 조용하게 유지하면서 먼지 및 기타 공중 오염 물질을 유지하는 밀폐 된 알루미늄 공기 (aluminum shroud) 가 특징입니다. 또한 충격 흡수 장치 (shock absorber) 가있는 조절 가능한 변위 하중 플레이트를 특징으로하여 웨이퍼를 낮은 수준으로 처리 할 수 있습니다. 또한, 에셋에는 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼 및 라이트 커튼 (Light Curton) 과 같은 안전 기능이 장착되어 있어 사용자 및 운영자가 안전하게 유지되도록 할 수 있습니다. PRI AUTOMATION 5850E Wafer Handler는 자동차, 전자 제품, 반도체 및 기타 대용량 생산 요구에 이상적인 솔루션입니다. 안정적이고 유연한 모델로, 자동화 및 효율성을 위해 설계되었습니다. 뛰어난 디자인, 복잡한 모션 컨트롤, 자동 기능, 안전 기능을 갖춘 5850E는 정확하고 정확한 웨이퍼 처리를 위한 탁월한 솔루션을 제공합니다.
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