판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850C #9144548

BROOKS/PRI AUTOMATION 5850C는 다양한 반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 빠르게 이동 및 조작하도록 설계된 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 로봇 장비는 프로세스 성능을 유지하고 높은 장치 수율을 생성하기 위해 정확한 웨이퍼 (wafer) 처리를 수행합니다. 이 시스템은 단일 워크스테이션에서 작동하며, 최대 4개의 웨이퍼 로봇을 제어할 수 있습니다. 브룩스 5850C (BROOKS 5850C) 는 다양한 반도체 제조 환경에서 생산성을 최적화하는 안정적인 설계로 제작되었습니다. 로봇은 모든 축에서 0.001mm (0.001mm) 의 순서로 반복 가능한 정확도로 초정밀 모션 제어 장치를 제공합니다. 이를 통해 분 웨이퍼를 수정하고 신뢰할 수 있는 장치 성능을 구현할 수 있습니다. 이 기계에는 사전 프로그래밍 된 매개변수를 사용하여 빠른 웨이퍼 정렬을 가능하게하는 시력 유도 검사 머신 (vision-guided inspection machine) 이 장착되어 있습니다. "로봇 '은" 웨이퍼' 의 반지름 과 지름 을 자동 측정 할 수 있으며, 심지어 "웨이퍼 '모서리 에 자동 검사 를 할 수 있다. 보호 웨이퍼 챔버에는 필터 및 진공/질소 교환 (Vacuum/Nitrogen exchange) 기능이 장착되어 있어 기계가 오염 없이 웨이퍼 처리 작업을 완료 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 다양한 기능 (예: 통합 프로세스 제어를 위한 레시피 프로그래밍) 을 갖춘 직관적인 사용자 인터페이스를 갖추고 있습니다. 로봇은 고급 제조 기술을 사용하여 속도, 정밀도, 신뢰성을 높일 수 있습니다. 또한, 시뮬레이션 및 모델링을 사용하여 프로세스 문제를 해결할 수 있으며, 자동 보정 (Automatic Calibration) 기능은 시간이 지남에 따라 로봇의 성능을 유지합니다. 간단히 말해, PRI AUTOMATION 5850C 웨이퍼 핸들러는 반도체 제조에서 다양한 웨이퍼 처리 작업을 빠르고 정확하게 완료하도록 설계된 지능형, 효율적인 로봇입니다. 고급 프로세스 제어 (Advanced Process Control) 와 신뢰할 수 있는 모션 제어 (Motion Control) 자산을 결합하여 로봇은 적절한 방식으로 높은 장치 수율을 생산할 수 있습니다.