판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 4500-5158-01 #9171655

BROOKS/PRI AUTOMATION 4500-5158-01은 반도체 제조 시설의로드 프로세스를 자동화하는 데 사용되는 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치는 더 빠른 제조 공정 (manufacturing process) 을 만들기 위해 단일 웨이퍼를 한 스테이션에서 다른 스테이션으로 빠르고 정확하게 이동하도록 설계되었습니다. BROOKS 4500-5158-01은 강철로 구성된 무거운 듀티 프레임으로 구성되며 최대 250 ° C (482 ° F) 의 온도를 처리 할 수있는 5 개의 가열 구역이 있습니다. 고급 광학 시스템 (Advanced Optical System) 은 적절한 적합성을 확인하기 위해 웨이퍼 (Wafer) 응용 프로그램을 검사하고 크기를 측정하는 데 사용됩니다. 이 스캔 시스템은 웨이퍼의 정확한 위치와 이동을 보장합니다. "와퍼 '를 제조 시설 의 여러" 오븐' 에 배치 하는 것 을 정확 하게 제어 할 수 있는 "로봇 '식" 암' 도 갖추어져 있다. 이 로봇 암 (robotic arm) 은 고출력 (high power output) 으로 인해 몇 초 안에 정확한 각도로 이동할 수있는 고급 서보 모터를 갖추고 있습니다. 웨이퍼 핸들러 포트에는 향상된 웨이퍼 처리 기능을 위해 특수 진공 노즐이 장착되어 있습니다. 진공 "노즐 '은" 와퍼' 를 정렬 하고 처리 하는 과정 중 에 "진공" 압력 '을 정확 하게 제어 할 수 있게 함 으로써 "와퍼' 를 정렬 하는 동안 에 더욱 정확 한 층 을 더 제공 한다. 마지막으로, PRI AUTOMATION 4500-5158-01에는 프로세스 중 웨이퍼가 손상되지 않도록 하는 다양한 안전 메커니즘이 포함되어 있습니다. 예를 들어, 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 가 오븐 (oven) 에 들어가거나 민감한 영역에 들어가려고 하는 것을 감지하면 프로세스가 즉시 중단됩니다. 전반적으로 4500-5158-01 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 모든 반도체 제조 시설의 생산 공정을 간소화하도록 설계된 고급적이고 효율성이 높은 기계입니다. 이 장치는 와퍼의 정확하고 정확한 처리를 보장함으로써 '설정 시간' 을 크게 줄이고 '생산 시간' 을 극대화할 수 있습니다.