판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 170692 #9201725
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BROOKS/PRI AUTOMATION 170692는 프로세스 간 반도체 웨이퍼와 기판을 이동하도록 설계된 고급 웨이퍼 핸들러 머신입니다. 이 기계는 웨이퍼 시닝 및 클리닝, 다이 본딩, 다이 첨부 프로세스 등 반도체 및 마이크로 일렉트로닉 응용 프로그램에 사용됩니다. 브룩스 170692 웨이퍼 핸들러 (BROOKS 170692 wafer handler) 에는 단일 웨이퍼와 기판을 독립적으로 조작하고 전송 할 수있는 2 개의 독립 로봇 암이 장착되어 있습니다. 첫 번째 "로봇 '암 에는 끝 에 위치 한 고급" 그리핑' 장치 가 있다. 이 메커니즘은 단일 웨이퍼 (wafer) 또는 기판을 잡아서 적절한 위치에 배치할 수 있습니다. 두 번째 로봇 암에는 특수 카세트 메커니즘이 장착되어 있습니다. "카세트 '장치 는" 카세트' 로부터 "웨이퍼 '를 옮겨 적합 한 위치 에 놓을 수 있다. 이 기계는 또한 우발적이거나 장난스러운 작동을 막는 보안 메커니즘을 갖추고 있습니다. PRI AUTOMATION 170692 웨이퍼 핸들러는 프로그래밍 가능하며, 웨이퍼 크기, 조작, 카세트 위치, 공정 온도 등 여러 사용자 정의 매개변수를 제공합니다. 운영자는 다이 클램핑 (die clamping), 프리 클리닝 (pre-cleaning) 및 포스트 다이 처리 (post-die handling) 와 같은 다양한 안전 측정 중에서 선택할 수도 있습니다. 이 기계는 대부분의 웨이퍼 (wafer) 처리 시스템과 호환되며 다른 자동화 시스템과 통합 될 수 있습니다. 170692에는 내장 열 카메라, 디지털 현미경 등 여러 가지 고급 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 피쳐는 처리 및 처리 중에 재료와 해당 특성을 검사, 분석하는 데 사용됩니다. 기계 에는 "웨이퍼 '모양 과 방향 을 인식 할 수 있는 시력" 시스템' 도 갖추어져 있다. BROOKS/PRI AUTOMATION 170692 웨이퍼 핸들러는 가혹하고 까다로운 환경에서 장기간 작동하도록 설계되었습니다. 이 기계는 빠르고 정확한 웨이퍼 로드 및 언로드 작업을 위해 설계되었습니다. 또한 안정적이고 유지 보수가 적으며, 구성 요소에는 최소한의 수리 또는 교체가 필요합니다. 이 머신은 또한 매우 비용 효율적이며, 저렴한 가격으로 안정적인 자동화 기능을 제공합니다.
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