판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 15500-02 #293585883

BROOKS/PRI AUTOMATION 15500-02 Wafer Handler는 반도체, 태양 광 및 MEMS 처리 환경에서 웨이퍼의 정밀 재료 처리에 사용되는 고급 로봇 장비입니다. 정밀 하고, 신빙성 있고, 반복 할 수 있는 방법 을 마련 하여, 한 공정 내 에 있는 여러 가지 기판 크기 와 "스타일 '을 전달 하도록 설계 되었다. 이 시스템은 다양한 프로세스 요구 사항 및 구성을 수용하기 위해 다양한 방법으로 사용할 수 있습니다 (영문). 브룩스 15500-02 (BROOKS 15500-02) 는 하드웨어, 소프트웨어, 로봇 제어 시스템을 통합하여 특정 프로세스 내에서 웨이퍼를 조작하는 단일 플랫폼을 제공하는 자체 통합 장치입니다. 모듈식 (modular) 설계를 통해 개별 고객의 구체적인 요구 사항과 프로세스 구성을 충족하도록 구성할 수 있습니다. 표준 머신에는 견고한, 통합 컨트롤러 및 드라이브, 강력한 멀티 축 로봇 플랫폼, 완전한 센서, 이미징 시스템, 비전 시스템이 포함됩니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 단일 오류 및 입자 수 감소를 제거하도록 설계된 고급 시력 유도 로봇 암을 특징으로합니다. 정교한 비전 유도 로봇을 사용하여 웨이퍼를 정확하게 배치하여 높은 반복 성과 정밀도를 보장합니다. 팔은 다른 인접 지점 사이에서 고속 횡단이 가능합니다. 이 도구는 6 인치 직경의 웨이퍼까지 효과적으로 처리 할 수 있습니다. 자산의 통합 데이터 획득 (Integrated Data Acquisition) 및 소프트웨어 제어는 프로세스 요구에 맞게 맞춤식으로 구성됩니다. PRI AUTOMATION 15500-02 Wafer Handler에는 장치 제어 및 프로그래밍을위한 다양한 소프트웨어 라이브러리 어레이가 포함되어 있습니다. Simple Network Management 프로토콜 기반 네트워크 관리는 완벽한 원격 액세스를 제공합니다. 소프트웨어는 웨이퍼 전송, 재료 처리 및 기타 프로세스별 작업을 자동화할 수 있습니다. 로봇 공학 및 자동화 기술은 점점 더 반도체 처리의 중요한 구성 요소가되고 있습니다. 브룩스/프리 15500-02 웨이퍼 핸들러 (BROOKS/PRI 15500-02 Wafer Handler) 는 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 고급적이고 강력한 모델로, 웨이퍼 재료 처리를 위해 정확하고 안정적이며 반복 가능한 제어를 제공합니다. 모듈식 설계를 통해 다양한 프로세스 요구 사항과 구성을 충족할 수 있는 유연성을 확보할 수 있습니다 (영문). 자동화된 웨이퍼 전송 (wafer transfer) 및 재료 처리를 위한 vision-guided robotics 및 소프트웨어 제어 기능이 통합되어 있어 효율성과 정확성이 극대화됩니다. 결과적으로 BROOKS/PRI AUTOMATION 15500-02 Wafer Handler는 반도체 생산 환경에 유용한 도구입니다.