판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 141001-0031 JET #9201728

BROOKS/PRI AUTOMATION 141001-0031 JET 웨이퍼 핸들러 (JET wafer handler) 는 반도체 업계에서 처리 중에 웨이퍼를 처리하기 위해 널리 사용되는 고도로 전문화 된 고정밀 로봇 장비입니다. 공정 챔버 (Process Chamber) 간에 웨이퍼를 전송하고 정렬 및 스태킹 (Stacking) 과 같은 복잡한 작업을 수행 할 수 있습니다. JET 시스템은 오버 헤드 레일 유닛에 장착 된 로봇 암입니다. 팔은 3 방향 (X, Y 및 Z 축) 으로 움직이도록 정확하게 제어 및 프로그래밍 될 수 있으며, 최대 3 도의 자유를 제공합니다. 이를 통해 최종 이펙터 (picking up 및 wafer from and to process chamber) 와 같은 작업에 대해 최종 이펙터를 매우 정확하게 포지셔닝할 수 있습니다. 끝 이펙터 자체는 웨이퍼 정렬 (wafer alignment) 및 스택 (stacking) 과 같은 복잡한 작업을 수행하도록 프로그래밍 될 수도 있습니다. 제트 머신 (JET machine) 은 정확성과 신뢰성을 보장하는 여러 가지 고급 기술을 갖추고 있습니다. 예를 들어, 암은 습식 마찰 제어 (wet-friction control) 및 다중 축 추적 (multi-axis tracking) 을 사용하며, 이는 최종 이펙터가 정확하게 움직이고 선형 방식으로 프로세스 챔버를 추적 할 수 있도록 함께 작동합니다. 또한, 이 도구는 교정 자산이 내장되어 있어 정확성과 반복 가능성을 보장합니다. 제트 (JET) 모델에는 엔드 이펙터 (end effector) 와 처리 중인 웨이퍼 (wafer) 를 모두 보호하는 다양한 안전 기능이 있습니다. 예를 들어, 장비에는 wafer pass-through 회피 시스템이 장착되어 있어 mis-alignment 및 collision을 감지하고 방지할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 웨이퍼 표면 손상 탐지기 (Wafer Surface Damage Detection Machine) 가 있으며, 이는 잘못된 처리로 인해 발생할 수있는 스크래치, 칩 및 기타 표면 손상을 감지하는 데 도움이됩니다. 전반적으로 BROOKS 141001-0031 JET은 반도체 업계에서 많은 이점을 제공하는 정교한 로봇 도구입니다. 이 제품은 프로세스 사이클 동안 웨이퍼를 처리하면서 정확성, 반복성, 신뢰성을 보장하는 다양한 고급 (advanced) 기술과 안전 (safety) 기능을 갖추고 있습니다.